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刷子监控方法及装置的制作方法
专利名称：刷子监控方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及监控技术领域，特别是涉及一种刷子监控方法及装置。
背景技术：
在硅片生产过程中，由于工艺或微环境的影响，硅片表面往往带有沾污物。由于硅片上器4，被光电传感器4的探头感应到。定时控制器6，用于在预设时间段
内未接收到所述数字信号时，输出报警信号。其中，预设时间段可以根据实际情况进行设定。例如刷子2在某一转速设置下所应达到的转速为标称转速I OOr/秒，如果设定当刷子实际转速低于标称转速10%时，输出报警信号，则对应的预设时间段可以计算得到为1/90秒。本发明实施例提供的一种刷子监控装置，可以通过光电传感器感应设置在刷子上的标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号。当定时控制器在预设时间段内未接收到所述数字信号时，输出报警信号。由于对刷子进行直接监控，因此能够实时、准确的检测刷子的转动情况。在本发明的实施例提供的另一种刷子监控装置中，还可以包括报警模块，用于根据所述报警信号进行报警。具体的，报警模块可以包括蜂鸣器、LED灯、显示屏和喇叭等多种装置并使用它们进行报警。如果在预设时间段内感应到刷子2上的标志物5经过光电感应器4，则继续对刷子2进行监控。本发明可以使用ontrak上原有的报警模块进行报警，也可以另外配备新报警模块进行报警。本发明的一种刷子监控装置可以和ontrak上原有的检测刷子转动的装
置一起使用。本发明实施例提供的另一种刷子监控装置，可以通过光电传感器感应设置在刷子上的标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号。当定时控制器在预设时间段内未接收到所述数字信号时，输出报警信号。由于对刷子进行直接监控，因此能够实时、准确的检测刷子的转动情况。相对于上面的装置实施例，本发明还提供一种刷子监控方法。如图4所示，本发明实施例提供的一种刷子监控方法，包括S101、使用光电传感器感应预先设置在刷子上的标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号到定时控制器。具体的，光电传感器可以通过发射可见光、红外线和紫外光辐射等光信号感应标志物经过探头。本领域技术人员可以理解的是，为了能够正确感应标志物是否经过探头，可以调整光电传感器的位置及探头的朝向。例如当标志物固定设置与刷子的转轴上时，探头的感应方向可以与转轴垂直。这样，当标志物随着转轴转动时，就会在每转动一周内产生一次标志物与探头感应方向垂直的情况。这时，通过调整光电传感器位置就可以使光电传感器与标志物相对应。如果标志物为表面光滑的遮挡片(如反射镜)，光电传感器所发出的绝大部分光信号都可以被标志物反射回光电传感器，被光电传感器的探头感应到。S102、在预设时间段内所述定时控制器未接收到所述数字信号时，所述定时控制器输出报警信号。预设时间段可以根据实际情况进行设定。例如刷子2在某一转速设置下所应达到的转速为标称转速IOOr/秒，如果设定当刷子实际转速低于标称转速10%时，输出报警信号，则对应的预设时间段可以计算得到为1/90秒。本发明实施例提供的一种刷子监控方法，可以通过光电传感器感应设置在刷子上的标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号。当定时控制器在预设时间段内未接收到所述数字信号时，输出报警信号。由于对刷子进行直接监控，因此能够实时、准确的检测刷子的转动情况。如图5所示，在本发明的实施例提供的