三段加热恒温控制器的制作方法.docx

三段加热恒温控制器的制作方法
专利名称：三段加热恒温控制器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种可对硅片和钢珠等产品进行加热处理，所使用的炉体进行温
度控制的装置，具体的说是一种三段加热恒温控制器。
背景技术：
在对硅片氧化三段加热恒温控制器的制作方法
专利名称：三段加热恒温控制器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种可对硅片和钢珠等产品进行加热处理，所使用的炉体进行温
度控制的装置，具体的说是一种三段加热恒温控制器。
背景技术：
在对硅片氧化扩散和钢珠的表面碳化处理进行加热时所使用的炉体，由于炉体内恒温要求高，一般都要设置加热恒温控制器，现有的三段加热恒温控制器都是采用用单片机为核心的软硬件相结合的控制器或三路纯硬件控制器，但现有的控制器要么结构复杂，难以维修，要么过于简单，灵敏度差，使之控制器的可靠性差，抗干扰能力弱，不能满足现有生产的需要。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术上的不足，提供一种三段加热恒温控制器，具有抗干扰能力强、灵敏度高、能够确保炉体内的温度始终处于恒温状态，且维修极为方便。
本实用新型为达到上述技术目的，所提出的技术方案中包括[0005] ——TC787触发集成电路(1)，用于触发脉冲位置的粗调、[0006] ——触发信号电路(2)，用于脉冲信号的形成、[0007] ——晶闸管(3)，用于控制电阻丝的通断、 ——炉体(4)，用于对产品的加热，内设置有电阻丝和用于温度信号产生的热电偶， 所采用的技术方案在于与外接电源相连的TC787触发集成电路串连接一个微调电路后，再通过触发信号电路和晶闸管与炉体内的电阻丝连接。 所述TC787触发集成电路串连接的相关线路共计3条相线线路，分别与炉体内的电阻丝连接。 所述TC787触发集成电路串连接的微调电路中依序相连的集成电路为CD4001、CD4070、 CD4020和CD4001。 所述CD4001和CD4070集成电路之间并联电阻R4和电容Cl，并设置有接地线路。[0013] 所述微调电路另设有线路与炉体内热电偶相连。 所述炉体内热电偶串连接信号处理电路后与微调电路中的LM324和CD4046电压频率转换器、再经CD4001与CD4020相连接。 在信号处理电路与CD4046集成电路的线路上串连有R3电阻。[0016] 所述LM324通过Rl和R2电阻设置有接地线路。 本实用新型通过采用上述技术方案，使整体温度控制首先由TC787触发集成电路进行粗调，再经微调电路微调后进入炉体，同时，炉体内的使用温度的变化经热电偶温度信号输出经LM324和CD4046进行运算放大进行电压频率转换再CD4020集成电路计数再进
3行微调，最后通过晶闸管控制电阻丝的通断，使之始终处于恒温，由此进行温度控制，与现
有技术相比，抗干扰能力强、灵敏高，可使炉体内的温度误差精度小于o. rc ，而且所需元件 少、成本低、可靠性好、维修极为方便。
以下结合附图
和实施例对本实用新型作进一步详述。 附图为本实用新型结构示意图。
具体实施方式附图实施例所示与外接电源相连的TC787触发集成电路1串连接一个微调电路 6后，再通过触发信号电路2和晶闸管3与炉体4内的电阻丝连接，TC787触发集成电路1串 连接的相关线路共计3路，分别与炉体4内的电阻丝连接，TC787触发集