微带印刷电路镀膜厚度的测量.pdf

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墩带制电路镑膜厚度的测量
微带印制电路镀膜厚度的测量
吴志刚
数. 申
。
, 据镀一嚣喾竺主荔
越
长仪、光学计之类的光学计量仪器进行测量,对精度要求不高的厚度尺寸,可使用万能量
具进行测量。对于在硅片上,玻璃上镶有一层.
测量其镀层厚度,并要达到一定甲儆的精/。尤其是对硅片上、玻璃上所镀印制
电路或有复杂尺寸要求的膜层厚度尺寸测量,更显得困难。对于这样的镀膜层厚度尺寸,
能不能测量呢能不能用记录方式展现镀层厚度及表面质量呢通过对硅片上,镀上黄金
镀膜层的微带印制线路另件进行分析,并做了相应的试验工作之后,认为,这种镀在平面
上的镀膜层,相对于基片来说,巷从●,。如果从
水平方向加以缩小来看,这与机加另件,表面加工痕迹的某一横切面的轮廓形’艟差不多
见下图:
镀

镀膜厚度

机加件表面轮廓形状
对另件表面加工的痕迹,我们采用表面粗糙度的有关参数来判断其质量。使用粗糙度
测量仪器,测量出表面加工痕迹的“波峰波谷”间的值。依据这一原理,我们也可以采
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《电讯工程》年第期
~ 波各高度即镀膜层厚度用
仪表显示或用记录纸记录的方法得到其值。
确的测量数据。

膜层另件。该另件基片为规格××及×× 的白瓷片。需要镀金的表面经过
研磨加工,其表面粗糙度值为.
。如超大,则造成贵
. 至范围
内
按上述条件,我选用—型光切显微镜及泰勒雪夫型轮廓仪,分别进行测
量。
.采用光切显微镜进行测量
。发出来的照明光线窄的亮带在垂直于
膜层的方向照明。
物镜后在分划板上的和。
计算出膜层厚度。
:
√
式中为物镜放大倍数。
圈
在实际的测量中,
测微目镜的读数鼓轮,在十字线压电和点时的两次读数差值与十字线的压线距离
有着。:
:· ‘②
。
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做带制电路镀膜厚度的测量
将②代人①便得
一半⋯。軎⑧
,
表匾粗糙度呈现的图象为不规则的波浪锯齿状见图
. 而测量膜层厚度时观场呈现两
条比较平直错开的带状见图

图图
测试表明:当在光切显傲镜上测量。.向的镀膜厚度对
. 选用倍的物镜为佳,
其示场效果比较理想。
在光切显微镜上,
. 还与测量人员
调正仪器狭鞋亮带图象质量及十字线压线位置育关当采用最佳的图象