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该【PECVD段工艺简介课件 】是由【iluyuw9】上传分享，文档一共【33】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【PECVD段工艺简介课件 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。PECVD段工艺简介 ——洪叶可
板式(Roth&Rau)
管式(Centrotherm)
常见问题
目录
二、板式(Roth&Rau)
软件界面
程序操作
工艺参数
常见问题
工艺腔界面
软件界面
设备界面:参数、趋势、数据资料记录、检漏测试
盖板控制、控制、真空泵、手动传输
设备、工艺腔、集气系统、维护、停止;
工艺腔界面:参数、工艺方案;
趋势:等离子体源趋势(反射、功率),综合趋势(MFC、压力、温度、真空泵转速);
检漏测试:对各个腔体进行检漏测试;
工艺设置界面
抽真空的步骤
进料腔
工艺腔
出料腔
工艺腔:加热区、沉积区、冷却区。
平时说的工艺腔指沉积区
抽真空顺序:先中间后两边。充气时则相反。
只有当工艺腔的压强达到一定值,才能对工艺腔充气。
充气时,加热会自动关闭。降温时要求为抽真空状态。
管式centrotherm
软件界面
程序操作
工艺参数
常见问题
Systemstate
板式(Roth&Rau)
管式(Centrotherm)
常见问题
目录
二、板式(Roth&Rau)
软件界面
程序操作
工艺参数
常见问题
工艺腔界面
软件界面
设备界面:参数、趋势、数据资料记录、检漏测试
盖板控制、控制、真空泵、手动传输
设备、工艺腔、集气系统、维护、停止;
工艺腔界面:参数、工艺方案;
趋势:等离子体源趋势(反射、功率),综合趋势(MFC、压力、温度、真空泵转速);
检漏测试:对各个腔体进行检漏测试;
工艺设置界面
抽真空的步骤
进料腔
工艺腔
出料腔
工艺腔:加热区、沉积区、冷却区。
平时说的工艺腔指沉积区
抽真空顺序:先中间后两边。充气时则相反。
只有当工艺腔的压强达到一定值,才能对工艺腔充气。
充气时,加热会自动关闭。降温时要求为抽真空状态。
管式centrotherm
软件界面
程序操作
工艺参数
常见问题
Systemstate
PECVD段工艺简介课件 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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