电池片清洗工艺知识.doc

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1,槽内换液流程,包括开始通知哪些部门,准确的联系方式,由谁负责,排液,加液时间到正常开始生产整个过程等。
机器槽内换液必须通知水站,告知自己所在部门、线别及要换排哪几种液,由工序长负责排液,加液由工艺完成,液加完以后,试投一片,测试减薄量的大小,能否正常生产。
2,每个槽内换液的周期,和时间点。
碱槽、酸槽24小时一次,3、5、7水槽12小时一次,制绒槽10天一次。
3,液用完后如何确保连续生产,员工如何知道液用完。
液用完后立即进行更换,员工在生产当中会根据报警信息的内容,告之工序长。
4,物料员关于目前化学品如何领用,区分,管理。
物料员是根据少量多次,单一品种,双人领用和专用领料车并佩戴防护用品,按酸碱和易燃易爆化学品不能储藏在同一贮藏室的原则实行分开和专人管理。
5,三楼处集中换液的流程,每种化学品一般更换的周期(每桶)。
要点:,:双层乳胶手套,戴好防毒面具,穿好防酸服,穿好防护靴.
。
“A线启用/B线启用”切换为“A线停止/B线停止”
。
,(用扳手将空桶回流口拧紧)将回流管取下,放置于指定区域。
,,使其进液口,回液口与进液管,回液管阀门位置上下相对应.
,.
,将进液管接上,拧紧.
.(进液口;回液口;进液管;回液管;阀门).
,将回液阀打开与水平方向呈30~~45度角即可。
“A线停止/B线停止”切换到“A线启用/B线启用”观察集中供液系统,确保无异常,即可恢复生产。
k,确认化学品,放置化学品,将满桶回流盖松开,接入回流及抽液管,检查密封圈,接抽液管,检查各接口,关闭工艺窗。
l,换液完复位液位,确认集中供液机工作,放置防护服,并记录让领班确认并签字。
HF(一天)HNO3(两天)NAOH(一天)HCL(两天)
6,上下道碎片如何区分,区分的作用。
清洗上道和下道的碎片是分开记录,分开包的。上道的碎片是原装碎、隐、裂缺角,崩边等它是制绒前碎片。下道碎片是经过制绒后的碎片,一般是机碎,隐裂或人为造成的。它们区分的作用是:便于回收。
7,设备故障达到什么程度需要向上汇报。
因设备故障3分钟内不能处理,立即通知设备和领班。达到半小时后要通知当班主管,超过1个时间通知区域主管,超过2小时区域主管通知高级主管。然后由高级主管通知经理。由设备开设备维修单。
8,如果不合格片退库,手续如何办理?
如果因原材料硅片不合格,异常缺陷,首先保护好现场,然后找巡检过来拍照取证,把材料交给领班,由领班退库,
由领班和巡检交涉退库事项。
9,清洗间每条线每个班要求的产量,在制品要求的上下限,工艺允许在制品的等待时间是多长。
清洗间每条线每个班的产量现在是13500PCS,在制品的上下限,是4张流程卡,但如有特殊情况,根据情况来逐量增加,工艺允许在制品的等待时间是越短越好。
10,减薄量的控制。
工艺要求:~
通过速度V来控制减薄量,公式:△M1*V1=△M2*V2
通过添加HNO3/HF来提高减薄量(比例:),
通过控制药水自动调加速率来改变减薄量大小,例如500pcs/,
11,制绒后绒面观测比较
步骤:取较大碎硅片,过清洗线四次,并用显微镜观察绒面状况
结果:未过清洗线的硅片表面无绒面,随着清洗次数增加绒面越大。
扩散:
1,换源流程?
生产过程中要经常观看源瓶状态,待源瓶内液位低于2CM时即需换源,先需电话通知巡检人员到场,换源人员要穿防酸服,防酸裤,戴防毒面具及汗布手套和乳胶手套,将气源柜内快使用完的源瓶拆卸下来,拆卸时注意先关闭进气阀门后关闭出气阀门,然后将源瓶放至扩散间源瓶贮存室并登记。接下来便可取新源瓶,先检查外观是否正常,然后依次拧开出气阀门和进气阀门,观看瓶内液柱是否有异常,待巡检人员检查完毕后再将阀门拧紧,然后用推车推至车间进行安装,先将源瓶阀门再拧开,然后先接出气管再接进气管,完成后即进行鼓泡实验,将扩散小氮流量打到500,鼓泡10秒钟,再将流量打到1000,鼓泡10秒钟,一切正常后再将流量恢复为0,然后将源瓶放置到位,再将换源登记填写好,换源完成。
2,如何确保源的先进先出?
扩散间源瓶贮存室内的源瓶分两个位置放置,后入部分和先入部分,取源瓶时应从先入部分取,待先入部分全部使用完后,将后入部分标识牌调换成先入部分,这样便可确保源瓶的先进先出。
3,换源需要做哪些安全防护措施?
穿防酸服,防酸裤,戴防毒面具,双手要戴汗布手套和乳胶手套,必要时还需穿防酸筒靴。
4,什么“五双”制度?
双人使用,双人保管,双人维护,双把锁,双本账。
5,开管式扩散炉与闭管式扩散炉的不同?优点?缺点?
开管式扩散炉一般是指以前老厂使用的老式设备,其炉门较简陋,没有安装石棉保温隔热层,硅片放置在浆上后需在两端都放置石英档板。闭管式扩散炉即指现在三楼使用的新式设备,炉门处安装有石棉保温隔热装置,炉内只需放置一个石英档板。
6,方块电阻与温度的关系?并且如何调整设备参数。
方块电阻值与温度是成反比的关系,若方块电阻偏低则说明炉内温度偏高,此时需将温度调低,若方块电阻偏高则说明炉内温度偏低,此时需将温度调高。正常的方块电阻值是43-48区间,调整温度时一度温度对应一度电阻,最大调整幅度不宜超过5度。
7,各温区之间的温度差极限值?
炉内温区大体分为炉口,炉中,炉内三个部分,在操作界面上又被细分为5个部分,其中温区一和温区二显示的是炉口部分的数值,温区三显示的是炉中部分的数值,温区四和温区五显示的是炉内部分的数值,各大温区间的温度差极限值不宜超过30度,各小温区不宜超过10度。
8,什么是拉恒温?
先设定恒温850度,待温控器显示与设定温度一致时,便可根据炉尾热电偶所在位置查看实际温度,热电偶与炉体对应的位置分别为:炉口30CM,炉中70CM,炉内110CM,当热电偶测得实际温度低于850度时,则降PB数值,实际温度就会开上来,当热电偶测得温度高于850度时,则应加PB数值,实际温度就会降下来。
9,洗管、洗舟的流程,配液比,以及维护的周期,由谁负责?
洗管,洗舟的流程是,首先应通知设备人员将石英管从扩散炉内取出来放置在专用的推槽内,然后推运到洗管间内,再将清洗机内残留的杂质和水份排干净,关闭阀门后接着便往清洗机内放水至20-30CM,然后便开始向机槽内配HF,HCL,再将石英管放入液体中依操作说明进行清洗流程,有喷淋,鼓泡,转洗三个过程,待流程完成后,将液排至另一边槽内,然后再用水枪对石英管进行水洗,最后再用气枪将石英管吹干,即可通知设备将石英管安装回扩散炉。
清洗石英管和STC桨的配液比是:HF(32L);HCL(8L)=4:1
清洗石英舟的配比是:HF(16L);HCL(8L)=2:1
石英管、STC桨及石英舟的维护由工艺人员负责。
10,方块电阻不均匀度的计算方式?
测方块电阻是在炉口、炉中、炉内、三个位置各取两片,测其中间部位的电阻值,取六片中电阻最大值减去最小电阻值,再除以最大电阻值加最小电阻值,即可得出其不均匀度。
11,新式舟与旧式舟的区别?
新式舟每舟可装150PCS硅片,硅片是朝负斜方向放置的,旧式舟每舟可装300PCS硅片,是垂直放置的。
12,偏磷酸的产生?处理?
偏磷酸是由于PCL3与硅片上残留的水份及进出管时空气中的水汽反应生成的,现在每个炉管都装有不锈钢槽盛偏磷酸,每班在下班前都会用酒精和碎布将其清理干净。
13,一旦发生POCL3泄露如何处理?
A,先紧急疏散人员并隔离封锁受到危害的区域,同时迅速通知安全部门;
B,限制闲杂人员及未穿防护装束人员接近;
C,进入危险区域观察前,空气呼吸器和个人防护装束必须穿戴完整;
D,污染区未完全清理前,限制人员接近,直至完全清理干净为止。
14,TCA2+1、4+1、8+1的区别?什么是TCA,是什么饱和?作用是什么?为什么不再继续做TCA而只做饱和?
TCA(C2H3CL3)三***乙烷,是指用TCA进行清洗操作,清洗掉石英管内的金属杂质,饱和是指模拟一次扩散过程,使石英管内充满磷元素,这样会使生产时硅片的扩散更充分更均匀。2+1是指先做两个小时的TCA清洗,然后再做一个小时的饱和,依次类推:4+1和8+1。
15,扩散的舟速
扩散进管和出管的舟速是250M/H或300M/H。
16,什么叫硅晶脱落?什么叫崩边?中间裂纹?对角裂纹?十字裂纹?如何确认扩散前产生的裂纹还是扩散后产生的裂纹
硅晶脱落是指在硅片表面四边有硅晶体脱落,但没有达到缺角的程度,崩边是指在硅片的四边有缺角且较严重,中间裂纹即指在硅片中间部位有裂纹,对角裂纹是指在硅片的四个角有裂纹产生,十字裂是指有裂纹交叉成十字形状,多发生在单晶硅片上。扩前裂纹在裂纹处有扩散痕迹,而扩后裂纹则没有。
17,扩散间每条线每个班要求的产量,在制品要求的上下限,工艺允许在制品的等待时间是多长,另外,要求前清洗间保证的在制品数量是多少。
每个班要求达到的产量在13000PCS,扩前在制品要求在8批2400PCS,扩后在制品要求在3000PCS,允许在制品等待时间不能超过2小时,清洗间应保证在制品数量是3000PCS。
18,方块电阻及其大小方法。
方块电阻工艺范围:45-50
方块电阻越小,表明搀杂浓度越高,所以只需要控制好反映速率便可很好的控制Si片的方块电阻,方法如下:
流量越大,方块电阻越小
,可使炉口扩散不到,大N2流量过大,可以使单片方块电阻不均匀度变大;
,增大方块电阻;
,方块电阻越小(现场可以通过小范围改变温度来控制方块电阻)。
刻蚀:
1,槽内换液流程,包括开始通知哪些部门,准确的联系方式,由谁负责,排液,加液时间到正常开始生产整个过程等。
通知水站7520,设施8791,工艺排液,产线人员协助作业,加液时间约为2小时,其中包括排液、酸洗、碱洗、清理碎片、降温、试生产。每个槽内换液的周期,和时间点。2、5、7号槽每周换液一次,3号槽每生产35万PCS换液一次,工艺提前一天通知,线负责人排液并协助换液。夜班生产结束7:30分排、碱洗、酸洗,8:00后由白班工艺配槽。
2,上下道碎片如何区分,区分的作用。
流入本岗位的都记作岗位碎片,在上料处有流入不合格片跟踪表做好详细记录,在月底时从本岗位报废中扣去,算到上道工序报废中,流入PECVD的,如果缺角现场确认箱内有碎屑则判为去PSG的报废,如果在盒内未取出有发现裂纹或其它不合格的,判为去PSG的报废。作用:清楚报废的原因,便于解决问题,责任划分,有效改进。
3,什么是制程异常单、什么是工艺异常单,分别是用于哪里,开具的标准是什么,也就是在什么情况下开这两种异常单,相关处理流程和相关人员。
制程异常单:是在生产过程中,发现影响质量的各方面问题,例如原材料问题,需要经QC确认现场并开具的。
工艺异常单:由于工艺问题影响产量,报废或造成其它方面的影响,由工艺部门确认并开单的。
处理涉及人员有:当班巡检,生产运转主管,领班,工序长,QC等。
4,什么原则下可以停线?必须通知谁?谁有这个权限?
满足下道工序,且产量完成后可以停线,通知领班和工序长确认。如发生重大事故(例碎片过多,换错液)则必须停线,立即通知领班或主管。
5,清洗间每条线每个班要求的产量,在制品要求的上下限,工艺允许在制品的等待时间是多长。
要求产量13000PCS,工艺要求流入PECVD区的在制品存放时间不要超过30分钟,保证后续的在制品数量为3000PCS,即10张单子。
PECVD:
1,批次与批次之间不满舟如何?不满舟会有什么结果?
上一批不满一舟用下一批次填满,并分别记录区分开来。
不满舟进行工艺,没有硅片的舟片上会沉积SIN膜,石墨舟物理性质下降,会产生红片,色差片等。
2,一区二区流程卡如何对接,数量如何确认?
刻蚀通过传送箱流入的合格品,当场清点数量即可。
3,石墨舟工艺要求的清洗周期、刻蚀周期?预处理的方式有几种不同?预处理不合格返工片多如何处理?
石墨舟运行120-150次需刻蚀,刻蚀满6次需清洗
预处理方式预处理方式:
NEWBOATPRZ新舟插上硅片预处理
AFTETCHPRZ舟刻蚀后没插硅片预处理
AFTETCHPRZ舟刻蚀后插硅片预处理
预处理后返工片多,加工艺时间,若还不行,需进行拆洗。
4,刻蚀、清洗、预处理的整个流程?
当石墨舟运行120-150次:
满6次刻蚀-拆洗-烘干-预处理
不满6次刻蚀-刻蚀-预处理
5,色差片产生的几种原因?
清洗、刻蚀工序减薄量不稳定
石墨舟物理性质下降(SIN沉积过多)
镀膜时间不同
微波峰值不稳定(设备原因)
6,色斑批片产生的原因?
硅片表面清洗不干净
扩散间偏磷酸滴漏
清洗、刻蚀、风刀没吹干或堵塞
7,检验标准?(色差、色斑片的判定标准)
以QC为准
8,每台机的石墨舟配置标准?小车的配置是怎样的?
每台机石墨舟标准配置7个,为正常轮转生产,小车配置4个。
9,为什么会出现舟浆分离?
石墨舟电极放反,SLS浆在炉管中较长时间未出,导致变形,检查要到位,及时观察。
10,镀膜的整个过程。
工艺开始-充氮-进舟-浆降至低位-浆在低位退出-管内抽真空并进行管内压力测试-通过高频电源用NH3预清理和检查-清洗管路-测漏-恒温-高频电源用NH3预清理-镀膜-结束镀膜-抽真空及测试压力-清洗管路-将管内剩余NH3、SH4抽走、防止与空气接触爆炸-充氮-浆在低位进入炉内-SLS移至高位-退舟-结束工艺
12,备用舟的管理。
一条线总共20个舟,14个生产,6个备用,备用舟不使用时应保存在相应的石墨舟柜内。
13,PECVD每条线每个班要求的产量,在制品要求的上下限,工艺允许在制品的等待时间是多长。另外要求刻蚀保证的在制品数量是多少。
产量13500,留丝网在制品4000PCS左右,刻蚀流入在制品1800PCS左右。
14,工艺重点参数
膜厚:100nm折射率:
镀膜的好坏,一般情况下是根据膜的颜色来判断的。正常膜面为淡蓝色,当膜偏厚时颜色会发白,偏薄时颜色会发红
因PECVD制程只能通过调节时间来控制膜厚,所以膜面质量的改善很大一部分需要从前站来改善。
绒面偏大时,膜的沉积速率变大,反之变小。
镀膜时间偏长,膜面发白,镀膜时间偏短,膜面发红。
丝网印刷:
1,浆料的管理?
产线每天只领用一天的用量,由岗位专员根据产线的库存提供领用量给物料员并开单,物料员负责领料交给岗位专员,岗位专员补齐现场本班的用量,然后将下一班的用量放在生产线存放区域,由陈普做账
2,目前使用的有哪几种浆料,分别搅拌时间?
目前使用的浆料有PV147银浆(第三道),CN-334462银浆(第一道),也有PV141银浆,但不用。铝浆R*8(第二道)(6080-15Q;6080-15L现不用)如果突然丝网做到来料加工的片子,浆料如何使用?银浆搅拌24小时以上,铝浆搅拌半小时以上,搅拌速度要求。
3,各道印刷重量标准?
第一道:±(共18个背电极)第二道:±:±,都是搅拌一瓶用一瓶,其中第一道两天使用三瓶半;第二道每个班使用20瓶左右,第三道每天使用3瓶左右。陈普第二天发两次,上午9点一次,下午16:00一次。
4,断栅连栅的区别?
断栅不超过六根或其中任何一根不超过两毫米都属于A级片和连栅的区别不大。
5,每个烘箱温度?速度,时间。
共有58只托盘,转一圈的时间都在10分钟左右,必须大于8分钟。
第一个烘箱的温度分别为:100℃120℃140℃160℃
第二个烘箱的温度分别为:140℃160℃180℃200℃
6,丝网印刷参数调整的允许范围?
丝网间距:-1200um~-1500um
刮刀深度:-1300um~-1800um
压力:66-72N
印刷速度:200-240Sec
7,外加工不需要印刷STP时是如何实现的?封网浆的作用?如何去除封网浆。
将网版上的STP用封网浆堵实,封网浆的作用是封有漏洞的网板,即补网版,在网版干燥后使用,去除封网浆用清水擦拭即可。
8,松油醇的作用?为什么只在第三倒使用?
松油醇用来擦拭网版,第三道正电极经常断线(断线分两种,一种是网版上有异物,另一种是网版被浆料堵住,有网版经常堵网,所以要使用松油醇,对浆料有很好的溶解作用),所以用来擦拭,第三道停下来超过3分钟必须进行擦拭。松油醇主要是用来擦拭网版的,片子或断栅,以及网版的清洗都是用乙醇。
9,断线、粗点、虚印的产生原因、控制方法、检验标准?
第二道台面不干净,或网版上有干浆料掉在台面上印刷烘干后引起的铝粉会造成断线,或第三道网板上有脏东西也会有断线,网板张力不够或参数调整会造成粗点,虚印。另外,第二道易干,如果不均易产生颗粒。控制方法:勤擦以面,多注意印刷质量,合理调整参数控制,另外,5-10分钟之间看一次印刷的效果,一次连续看5-10片。
10,压版如何判定?如何避免?
出现同样的碎片,或每四片有一片有一样的隐裂可以判定为压版。(对印刷后的片子中央及四周轻轻的敲击,看有无异常,因为细小的压版可能要到烧结后才能体现,这样压版的量是非常大的)避免:勤擦台面,多注意上料的片子是否有碎片,台面纸经常更换,保持台面平整。(碎片千万不能掉进正在印刷的浆料中,那是最头疼的事,也是最不容易被发现的)
11,网版使用寿命,领用注意事项?
第三道A版使用寿命为3万,第一道B版10万,第二道C版5万,领用时注意型号不要领错。(只针对156多晶),刮条与网版寿命同样。
12,报废后如何处理?
网板报废后要有网板使用寿命单,对网版寿命不到就更换的需经过工艺签字。更换下来的网版(未到报废要求的)如何处理?机器长时间不印刷如何进行预防漏浆操作,印刷模式需要如何更改?
13,烧结炉的温度?速度,时间。
6个温区:500℃520℃550℃570℃800℃802℃,根据片子厚度,工艺会做调整,速度为4600MM/MIN。
14,为什么浆料不能混用,会产生什么严重后果?(注意铲刀、刮刀头未清洗干净不能混?)
浆料混用后会严重影响片子的电性能,转换效率,所以浆料不能混用,铲刀,刮刀头每次都必须擦拭干净。
15,要求PECVD到丝网的在制品数量是多少?
一般在4000-5000PCS左右,最少3000PCS,一般根据实际情况来看。丝网的产量平均每小时为1200-1380PCS左右,总产量要求每个班13000PCS,。
16,丝网印刷工序违规动作:
徒手不可接触任何机器设备
上料盒托住底部
停机后才可以取片
不可徒手随意打开设备,设备在维修时才可以打开
丝网下料,注意一次只可取一片
17,丝网印刷参数调整原则
印刷方式:


网版:
网版间距:网版与印刷平台之间的距离。(以印刷平台为0参考点,平台上方为负方向,网版正常停止时间距Spec:-3000um,印刷时间距Spec:-900~-1300)
网版间距调整原则:在保证质量的前提下,网版间距越小越好,太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不良和损坏网版。
刮条:
刮条深度:刮条印刷时使网版面下降的距离。(以网版面为0参考点,网版下方为负方向。网版正常停止时的位置
Spec:5000um,印刷时的位置为:Spec:-900~-1300um)。
刮条深度和压力(Spec:50~70N)调整原则:在保证印刷质量的原则下,刮条下降深度与压力越小越好,刮条下降过深或压力太大,易碎片和损坏网版,刮条下降深度不够或压力太小易印刷不良或沾版。
印刷速度:150~300mm/s刮桨料速度:450mm/s
丝网印刷时遵循以下原则:
刮条压力&刮条深度与桨料下漏量成反比,
丝网间距&刮条速度与桨料下漏量成正比。
18,各种流程的作用及常见异常
丝网印刷是通过刮条挤压丝网弹性形变后将浆料漏印在需要印刷的材料上的一种印刷方式。

背电极作用:用于组件时焊接用。
125硅片有2根背电极,156硅片有3根背电极,其中多晶为分段类型的,而单晶为整条类型的,更换网版时必须校正网版位置,使两侧的背电极距离Si片边缘基本相同.

作用:钝化硅本体,提高电池开路电压(在工艺范围之内,背电场越厚越好)
常见异常:
:
如果是因为烧结所致,就调节3、4区温度;但若是铝珠分布在履带顶针四周,可考虑是否为履带过脏,或是顶针磨损所致,此时需要清洗履带,严重时可以考虑更换履带;另外,铝珠的产生也可能是由于二道印刷过厚导致,那么可以在不影响电性能的情况下,减轻二道印刷重量。
:
,使绒面过大,易产生铝苞。
,刚换过网版未及时控制好背场印刷重量,易产生铝苞,此时只需控制好印刷参数和印刷重量就可以解决。
。看洞的破损情况,如果可以用胶带修补,且试做OK后可正常生产,若修补无效须更换网版.
:三个参数同时增大,降低速度

作用:收集电流
156硅片副栅线有78根,主栅线有3根
125硅片副栅线有62根,主栅线有2根
注意事项:
正电极需返工的硅片,在擦拭后应该正面对正面叠放。正反面一起叠放时背电场铝桨会粘到正电极上,从而影响转换效率.
常见问题:
A:断线:当网版被堵时,桨料无法下漏所至,只需擦拭网版即可
B:虚印:增大压力,刮刀深度,降低丝网间距
C:粗点:加大丝网间距,减小刮刀深度和压力,加大印刷速度。刮刀刚下去粗点,减小刮刀深度。刮刀刚上去粗点,加大丝网间距。

作用:去除桨料中的有机物质。

作用:让上下电极行成良好的接触,提高转换效率。
炉内气氛是在N2的保护情况下进行烧结的,烧结温度主要是通过影响RS&RSH来提高转换效率的.
常见问题:
:将主烧结区5、6区温度适当加大3度左右,测试后看电性能,如果没有达到理想的烧结效果可对其进行再优化。
:根据烧结后的测试数据,降低烧结5、6区温度,然后再进行测试,直到烧结正常。
分类检测: