电池产业化技术介绍.pptx

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常规电池背面的光学和电学损失制约了效率的提升。
PERC技术提升效率机制——降低背面电学复合+增加内部光学反射。
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从结构上看,PERC电池仅比常规电池多一个背钝化层,氧化铝是目前产业化最好的钝化介质膜。
正面金属电极
正面镀膜
磷扩散制PN结
全铝背场
背面金属电极
背面钝化叠层
局部铝背场
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增加2道工序
双面制绒
管式扩散
背刻+边缘隔离
正面镀膜
背面钝化叠层:AlOx+SiNx
背面钝化层激光开槽
金属化后的PERC电池
需改进工序
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——1
钝化原理:场效应钝化+化学钝化
钝化效果监控:少子寿命测试
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——2
钝化方式的选择:PECVD。
关键设备:SiNA改造,费用￥1000万+/套。
兼顾产能和效率
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目的:打通背面绝缘叠层,形成背电场与硅基体的电学通路。
关键设备:武汉帝尔,费用￥100万+/套。
图形:选择不同的打线或打点方案,可实现相同的电池效率。
532nm波长的纳秒级激光开线,约36um宽。
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目的:削平金字塔塔尖,减少背表面悬挂键,降低表面复合速率,增加内反射。
方法:改进现有刻蚀工艺的化学配方,在去PSG和边缘隔离的同时进行背抛工艺。
目标:化学蚀刻厚度5~6um,~.
背面抛光效果,500×
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扩散工艺的改进
匹配PERC工艺曲线
常规扩散曲线
改进常规扩散工艺,获得更佳的长波响应。
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精选专用的低温浆料,配合特殊的烧结工艺,使得局部接触无空洞。
无空洞局部接触
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