双臂非共程点光源非定域干涉小角度测量方法 张宝武.pdf

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涉小角度测量方系统灵活性考和后镜参考2种受限法的比较测量。实验结果显示2种方法在±″测量模式内具有很好的一致性,充分验证了所提方法的可行性。所提方法因为实现了参考平面与测量平面的分第44卷第8期张宝武等双臂非共程点光源非定域干涉小角度测量方法1207离,不仅能够实现传统单臂共程非定域干涉小角度12-14.,,,测量功能,而且能够实现自准直仪的测量功能。、放大率高、系列圆环的圆心定位精度高ofPhotoelectricAutocollimator[J].ActaMetrologica和结构灵活等特点,为相关技术领域小角度测量提Sinica,2018,39112-14.[][],供了一种新方案。,2020[]参考文献[11]周世南,沈小燕,李东升,-P标准具多光束干涉成像实现微小角度自校准测量[J].光子学报,[],,,-2022,5140412007responseandhigh-precisiondynamicmeasurementZhouSN,ShenXY,LiDS,-calibrationmethodwithapplicationonsmall-anglemeasurementCorrectionMeasurementofMicro-angleBasedonF-P[],,-beamInterferenceImaging[J].,2022,5140412007.[]黎雄威,李琪,纪峰,等,计量型激光椭偏仪初始入2[12]刘源,沈小燕,周世南,-珀罗标准射角校准方法的研究[],计量学报,,J2022435具的微小角度测量及不确定度评定方法[J].光子学571-,2021,5070712004,,,,ShenXY,ZhouSN,-angleuracyEvaluationBased[],,-PerotEtalon[J].ActaPhotonicaSinica,571-,5070712004.[]王汉斌,黄垚,薛梓,等,激光小角度基准测量不确3[13][],计量学报,,J2019406970-.—Newnon-localizedinterferencefringes[J].,,,,Edinburgh,andDublinPhilosophicalUncertaintyEvaluationfortheLaserSmallAnglePrimaryMagazineandJournalofScience,1943,34235[],,--974.[14][]王海涟,胡雁凯,张帆,激光小角度测量系统的4推广应用[J],物理,1974,32119-[],计量与测试技术,,-,,[J].Physics,1974,32119-[15]BergmanTG,[],,&MeasurementTechnique202148forDeterminingtheDegreeofParallelismofLaser1140-[J].AppliedOptics,1968,75923-925.[]谈宜东,徐欣,张书练,激光干涉精密测量与应用5[16]FordL,-[],中国激光,,J202148151504001PerotEtalons[J].AppliedOptics,1969,812,,-2556.[][17]WangYC,ShyuLH,-Pérot,,[]宋治,张记,张汉平,等,直线导轨滚转角测量误6largemeasuringrange[J]ReviewofScientific差自校正方法[],计量学报,,J20224312Instrumment,2010,81,-1543.[18][D],武,,,-correction汉华中科技大学,[J].ActaMetrologicaSinica,2022,43121538-1543.[7]王文亮,角秒级小角度测量技术及其在航天器中的应用研究[D],长沙国防科技大学,-,山东平度[8]GechelerRD,SchumannM,JustA,,中国计量大学副教授,主要从事comparisonoftraceablespatialangleautocollimator干涉精密测量方面研究calibrationsperformedbyPTBandVTTMIKES[J].。Metrologia,2022,@[9]杨占立,范百兴,西勤,[J],计量学报,2018,391