XPS谱图的形式.ppt

第5章、谱图的一般特征 1. XPS 谱图的初级结构 2. XPS 谱图的次级结构 3. AES 谱图的特征性质 、 XPS 谱图的形式?XPS 谱图的采集: ? XPS 谱图是通过用 X射线照射样品材料的同时测量从材料表面出射的电子的能量和数目而得到的。?XPS 谱图的形式: ?光电子信号强度 I 随能量的变化关系( I ~ E B); ?数据采集模式: ?全扫描谱(Survey scan) :扫描能量范围宽(0?1100eV ),灵敏度高(分辨力低),元素鉴别。?高分辨谱(Detail scan) :扫描能量范围窄(20eV 左右),分辨力高,主要用于元素化学态分析。 、 XPS 谱图的形式?在XPS 谱图中可观察到多种类型的谱峰。?一部分是基本的并总可观察到—初级结构?另一些依赖于样品的物理和化学性质—次级结构?光电发射过程常被设想为三步(三步模型): ?光吸收和电离(初态效应); ?原子响应和光电子发射(终态效应); ?电子向表面输运并逸出(外禀损失)。?所有这些过程都对 XPS 谱的结构有贡献。 、 XPS 谱图的初级结构 、光电子谱线( photoelectron lines ) ?由于 X射线激发源的光子能量较高,可以同时激发出多个原子轨道的光电子,因此在 XPS 谱图上会出现多组谱峰。由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰,因此可以利用这些峰排除能量相近峰的干扰,非常有利于元素的定性标定。?最强的光电子线是谱图中强度最大、峰宽最小、对称性最好的谱峰,称为 XPS 的主谱线。每一种元素都有自己的具有表征作用的光电子线。它是元素定性分析的主要依据。?光电子峰的标记:以光电子发射的元素和轨道来标记,如? C1s , Ag3d 5/2等?此外,由于相近原子序数的元素激发出的光电子的结合能有较大的差异,因此相邻元素间的干扰作用很小。?峰位置(结合能)。与元素及其能级轨道和化学态有关。?峰强度。与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正比。?对称性。金属中的峰不对称性是由金属 E F附近小能量电子-空穴激发引起,即价带电子向导带未占据态跃迁。不对称度正比于费米能级附近的电子态密度。?峰宽( FWHM )光电子线的谱线宽度来自于样品元素本质信号的自然宽度Γ、X射线源的自然线宽、仪器参数以及样品自身状况的宽化因素等四个方面的贡献。一般高分辨主峰峰宽值在 ~ eV 之间。(1)光电子谱线特征 1510 2 E eV ? ?? ?( ) ?? ??? Ag3d:10 -14s Ag3s:10 -15s 光电离过程中,电子占有能级的宽度