硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度测试装置和测试结构设计尺寸.pdf

GB/T XXXXX—XXXX
附 录 A
（资料性附录）
θ
24

测试装置局部尺寸标注
初始位置
示数 d 1 μm 示数 d 2 μm
3 μm 3 μm
固定刻度
标尺指针
5 μm
示数 d 3 μm 示数 d 4 μm 示数 d 5 μm
形变量和位移量标尺示数设计
7GB/T XXXXX—XXXX
测试装置的设计尺寸 单位是微米
测试装置尺寸代号 设计尺寸
1 60
2 130
3 80
4 70
5 130
6 100
7 280
8 60
9 50
10 100

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