台阶仪测试薄膜厚度实验.docx

东南大学材料科学与工程
实验报告
学生姓名 班级学号 实验日期201495 批改教师
课程名称 批改日期
实验名称 报告成绩
一、 实验目的：
掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。
二、 实验原理：
LVDT是线东南大学材料科学与工程
实验报告
学生姓名 班级学号 实验日期201495 批改教师
课程名称 批改日期
实验名称 报告成绩
一、 实验目的：
掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。
二、 实验原理：
LVDT是线性差动变压器的缩写，为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面，当检测到 一个高度差别则探针做上下起伏之变化，此变化在仪器内部的螺旋管先圈内造成磁通量的变化，再 有内部电子电路转换成电压讯号，进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器，可测量的位移量小到几 万分之一英寸至几英寸。
LVDT的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场，并内建一支可动的铁磁主轴以及两组 感应线圈，当主轴移动造成强度改变由感应线圈感应出两电压值，相比较后即可推算出移动量。
三、 实验步骤：
（1） 开机准备
（2） 放置样品
（3） 参数设置
（4） 扫描结果分析
（5） 数据保存
四、 实验内容：
Si基底上沉积金属Cr薄膜的厚度的测量
五、 实验结果与分析：
样品：硅片上镀铬薄膜；
实验参数：长度1000 m m；持续时间40s；针压力3mg；表面轮廓是Hills and Valleys.
由实验曲线及数据，可得薄膜厚度约为(-) = “m。
六、思考题：
1、对于用台阶仪对非完美薄膜的厚度测量，Step Hight的M和R Cursor点
的选择？
两个点分别选在图线中的拐点处，这样倾斜的曲线会水平，比较容易得到薄膜的厚度
2、怎么样才能得到一个比较shape的台阶？
在制备时在衬底上覆盖一个形状规则比如长方形的陪片，且覆盖片要尽量薄，边缘
应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，方便测量