氯氢硅的生产工艺与技术路线的选择.pdf

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的选择(总3页)
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三***氢硅的生产工艺与技术路线的选择
三***氢硅的生产原理及催化反应机理
生产原理
三***氢硅是通过高纯***化氢气体与金属级单体硅(质量分数%~%)在一定温
度、压力条件下反应制备的。反应方程式如下:……
催化反应机理……
三***氢硅的生产原料选择
以四***化硅为原料(还原法)……
以硅粉为原料(直接法、硅氢***化法)……
工业硅粉
(1)硅粉的性质
……
(2)硅粉的选择
硅粉的规格对反应与产品质量有很大影响。选择硅粉时主要考虑以下2
点。
……
(3)硅粉精制
2
三***氢硅生产工艺流程……
***化氢的制备
(1)***化氢的性质
(2)***化氢合成条件
(3)***化氢合成工艺
三***氢硅合成
该工序是整个三***氢硅生产中最重要的部分。
……
气固分离
……
合成气冷凝
……
精馏提纯
近年来,三***氢硅的提纯技术发展很快,但由于精馏法工艺简单、操作方
便,所以目前工业生产中主要用精馏法。
……
3
废气处理
……
三***氢硅制备及精制工艺进展
硅氢***化法
SiCl-H还原法
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三***氢硅的精制
三***氢硅生产工艺比较
三***氢硅质量指标
目前我国三***氢硅没有国家统一标准。征求意见稿中:工业三***氢硅分为
Ⅰ、Ⅱ两型,Ⅰ型工业三***氢硅产品用于生产多晶硅,Ⅱ型工业三***氢硅产品
用于生产硅烷偶联剂的单体。本标准适用于由硅粉和***化氢为原料经提纯后生
产的工业三***氢硅。该产品主要用于生产多晶硅和硅烷偶联剂等。
表三***氢硅质量指标表
项目Ⅰ型Ⅱ型
优级品一级品合格品优级品一级品合格品
外观无色透明液体
三***氢硅w/%≥
二***二氢硅w/%
≤
四***化硅w/%≤
4
***硅烷聚合物w/%
≤
硼w/%≤——————
详细内容参见六鉴网(发布《三***氢硅技术与市场调研报告》。
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