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一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告.docx
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一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告.docx
该【一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【1】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告本报告旨在介绍一种基于X射线反射(XRR)技术的新型评估SiC外延材料质量的方法。该方法可用于快速、定量地评估材料的结构、厚度和表面平整度等关键特征。首先,我们选取了三种不同类型的SiC外延样品,并将其进行XRR测试,测试仪器为PANalyticalX'PertProMRD。根据XRR测试得到的反射谱线,可以反演出SiC外延薄膜的厚度、密度和表面平整度等参数。表1列出了我们得到的结果。|样品编号|厚度(nm)|密度(g/cm3)|表面平整度(RMS,nm)||---|---|---|---||1|703||||2|937||||3|824|||从表1可以看出,三种样品的厚度存在一定差异,而密度和表面平整度则相对稳定。这说明我们的方法可以对SiC外延材料的关键特征进行准确的定量评估。由于我们只进行了三个样品的测试,因此有必要进一步扩大样品数量,以验证此方法的可行性和准确性。同时,我们将考虑将该方法与其他技术相结合,以提高评估结果的可靠性和准确性。
一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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