下载此文档

基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告.docx


文档分类:论文 | 页数:约2页 举报非法文档有奖
1/2
下载提示
  • 1.该资料是网友上传的,本站提供全文预览,预览什么样,下载就什么样。
  • 2.下载该文档所得收入归上传者、原创者。
  • 3.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
1/2 下载此文档
文档列表 文档介绍
该【基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告 】是由【niuwk】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告摘要:本文介绍了基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究进展,包括设计原理、制备工艺以及实验测试结果分析等方面。本研究使用直径为10微米的镍铁合金薄膜作为压电材料,应用磁电耦合的原理,结合微加工技术,制备了超磁致伸缩微小泵。通过电压驱动,可实现高频率的流体泵送,泵送流量可达到10微升/分钟以上,并且泵送精度高。实验结果表明,该微小泵具有良好的泵送性能和稳定性,可以在微流控芯片等微型流控系统中广泛应用。关键词:超磁致伸缩、高精度、高频、微小泵、,其作用是将微流控芯片内的流体泵送到指定的位置。目前常见的微小泵有压力式、电泵式、压电式等,但这些泵的泵送精度和稳定性受到很大的限制。同时,由于微小泵的结构体积较小,所以要求泵送频率和泵送流量均要较高。超磁致伸缩材料具有在磁场作用下出现形变的特性,其可用于微小泵的制备。通过改变材料处在磁场时的状态,可以实现微小流体的泵送。在磁场作用下,超磁致伸缩材料的形变量可以达到1%以上,而且具有极高的灵敏度和响应速度,可实现高频率的泵送。,制备了超磁致伸缩高精度高频微小泵。其工作原理如下图所示:当外加电压施加到NiFe合金薄膜上时,通过磁电效应,会在薄膜表面产生磁场,引起磁致伸缩效应。由于薄膜的形变量很小,所以需要将其加工成微悬臂梁的结构形式,以增加其形变量。当施加电压频率较高时,可以实现高频率的形变,从而实现流体的泵送。通过微加工工艺,将泵的进口和出口与管道连接,即可实现微小流体的输送。:(1)超磁致伸缩材料制备:通过磁控溅射法在硅衬底上制备NiFe合金薄膜,其厚度为200纳米。(2)微悬臂梁制备:利用光刻工艺将NiFe合金薄膜定义成微悬臂梁的形状,并进行湿法刻蚀工艺,制备微小泵的进口和出口。(3)装配工艺:将微小泵的进口和出口与管道进行连接,形成完整的微小泵。,得到了超磁致伸缩高精度高频微小泵的泵送性能和稳定性。(1)泵送频率和流量测试:实验结果表明,该微小泵的泵送频率可达到40Hz以上,泵送流量可达到10微升/分钟以上。(2)泵送精度测试:将不同浓度的葡萄糖溶液加入微小泵中进行测试。实验结果表明,%左右,具有非常高的精度和稳定性。,实现了高频率、高精度的流体泵送。该微小泵具有结构简单、制备工艺成熟、可实现大规模制备等优点,可广泛应用于微流控芯片等微型流控系统。

基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.

相关文档 更多>>
非法内容举报中心
文档信息
  • 页数2
  • 收藏数0 收藏
  • 顶次数0
  • 上传人niuwk
  • 文件大小11 KB
  • 时间2024-04-14