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高精度激光干涉测量中环境误差因素的综合补偿.pdf


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Lightpathofopticalelements?????с??`??????????(4)?,L=Fcor-v/2na,?????na???????????????,?????????,с?????????????,??????????????????????b(1)???????????????????????????????????????????图4 直接法空气折射率测量?э?????na,??4??b??????,??? Measurementofairrefractive??????????b????????????indexwithadirectmethod?,????????э??F,???????n=1+F/2L(5)``?????????????????5€10-8b?????????,????????????????????????,????????b???????,?????,?υ???С??Ф??b(2)????????э??????????2OC?a??a??a?э??,????????b???????????????????????????????bEdlen???Edlen?1966??????a??a???????????????,???????????????????,????10-8??????b????????????Edlen??Ч??b????????????,??????????????b????CO2?????mpp2?????,mpp355?????2OC?????b??Ф?????b?э???????????????????b:..1999年8月`???????:??????????????????312`??????`?????????(2)??,???????,?с????ф???ф??????????Lg??b??????????ф???ф?????,??1(a),?????ф???????Lg??b?????ф?????La,???????ф?????????1(a),?????????ф????????,???????ф???????b??????????,???图5 零点误差的消除????5???????b????0=1+2,? EliminatingoferroratzeropointLLL??d???????,?????ф???ф??????????????b?????La??b???,??gL?,??????????ф???ф??,??????????????????????э???????`??????????????????,???L=Fcorv/2na,?????na?э?????????????,??????,?????????? 双干涉自补偿系统(方案一)????????(?300mm),???????,???????,?э??????,???????6?????????b??M1????,M2,M3????,M1?M3,M2?M3??????????????????,??????Ф?????B1??(F1),?????????????B2??(F2)b???????????d??,???????,?M2ф??????????图6 双干涉自补偿光路M1фb???????M2???????,???? pensationlightpath?????????????????F20b??withdouble-interferencena0Lmax=v/2F20(6)??`na0????????,?????,?????,??????????э????????э?,?B1,B2??????????F1,F2???(n0-na0)Lmax=v/2F2(7)naL=v/2F1(8)L=v/2F1/[(F2/F20+1)na0](9)??(9)??????na0,ь???????фna?э????ф?na????,???????na??b?????????????,??????,??????,?????,????σ???σb???σ??????????????????????????na0,????:..32????````````````第26卷第4期???????b????????,??M2????????,???????????,???э???£2£20????F(na0-1)Lmax=v/2F£2£20(10)?(6)????a02020£2£20n=F/(F-F)(11)``?????????a??a???????????????,?????????,??Edlen??????????? 多点检测线性拟合补偿系统(方案二)???????(?300mm)?,????????????,??????????????????σ????????????????????b?????????????????????,?(1)?э??Lna(l)dl=v/2F(12)‘0????????kv…naili=F(13)i=12k??`…i=1li=Lb???????????????li??,??K?L???,??(13)э?kvL(1/k)…nai=F(14)i=12``???????????????????na(1)?????nai,ь?????b????????????????,????Edlen?b??????,???????,na?????Ta??pa????H?????nai=-[929(t-20)-(p-101325)+(h-)]€10-9(15)``???????????????????nab???????????????????????,?????????,??7??b??Si???????????????bSi?????????Ti,???????Pi??????Hi??(?????????????,??????????)b???????????,???????,?????????????????????????????э???b????L??????????S1,S2,S3,??????????图7 多点检测拟合补偿系统???,???Edlen?????na1,na2,na3,??? Multi-pensatingsystem????????????????????na:..1999年8月`???????:??????????????????33(1)bna(1)=na1a(1)+na2b(1)+na3c(1)(16)??`a(1),b(1),c(1)??????????????b?????????????э?????,????(12)??(14),ь????????????????????b3`????????????????????????э??????э??????,???????????,???????????,????????,??????ь???????э?(???????)b?????7???????????,???,??ф????????,?????????????????,?????b???1??,?????????????b?1`????????б?parisonofthemeasuredvaluesobtainedpensationpensatedTimedisplayvaluedisplayvalue7?00007????????:[1] ,1993,4:907-926[2] ,1988,21:694-695[3] -,1985,24(6):15[4] ,1997

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  • 时间2024-04-16