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柔性薄膜太阳能电池的制备.ppt

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薄膜太阳能电池
姓名:
日期:. 13

1
薄膜太阳能电池的种类
longsun
柔性太阳能电池的种类

2. CIGS薄膜太阳能电池

longsun
非晶硅薄膜太阳能电池
longsun
(柔性衬底)
Flexible substrate
多结结构
longsun
背电极的制备
此膜层主要采
用直流磁控溅
射的工艺进行
制备,使用磁
控溅射设备
GLASS or PI
背电极:Ag主要形
成良好的欧姆接
触,用来收集电流,作为电池的电极使用
longsun
接触层的制备(AZO)
此膜层主要采
用直流脉冲磁
控溅射的工艺
进行制备,使
用磁控溅射设
备
GLASS or PI
接触层AZO:
1)可以将金属层和吸收层隔开,避免金属扩散到吸收层中,影响电池的性能
2)起到背反射作用,将吸收层未吸收的光发射回吸收层,进行再次吸收过程
longsun
吸收层的制备(非晶硅)
此膜层是通过RF—PECVD来完成
的,使用RF-PECVD设备
GLASS or PI
The top: 带隙的非晶硅a-Si,吸收蓝光。
The middle:
带隙的硅锗合金a-SiGe,吸收绿光,Ge 的含量为10%-15%。
Bottom: 带隙的硅锗合金a-SiGe,为40%-50%吸收红光和红外光,Ge 的含量较高。
longsun
吸收层设备示意图
longsun
Unisolar 的镀膜装置
longsun

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