磁芯感应线圈传感器综述.docx

(申请工学硕士学位论文)
磁
控 (申请工学硕士学位论文)
溅
射法制
Ti N
备 磁控溅射法制备 TiN 颜色薄膜的
色
颜 研究
薄膜的研究
培养单位:材料科学与工程学院
况
婷 学科专业: 材料学
研 究 生:况婷
指导老师:程金树 教授
武
汉理工大学
2014 年 5 月
分类号 密 级
UDC 学校代码 10497
学 位 论 文
题 目磁控溅射法制备 TiN 颜色薄膜的研究英 文 Research on the colored TiN thin films fabricated by 题 目 ron sputtering process 研究生姓名况 婷
姓名 程金树 职称 教授 学位 硕士
指导教师
单位名称 材料科学与工程学院 邮编 430070
申请学位级别 硕士学科专业名称材料学论文提交日期 2014 年 5 月论文答辩日期 2014 年 5 月 24 日学位授予单位武汉理工大学学位授予日期答辩委员会主席刘继翔 评阅人刘继翔
田培静
2014 年 5 月
独创性声明
本人声明,所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外, 论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得武汉理工大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一
同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。
签名: 日期:
学位论文使用授权书
本人完全了解武汉理工大学有关保留、使用学位论文的规定,即学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版, 允许论文被查阅和借阅。本人承诺所提交的学位论文(含电子学位论文)为答辩后经修改的最终定稿学位论文,并授权武汉理工大学可以将本学位论文的全部内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存或汇编本学位论文。同时授权经武汉理工大学认可的国家有关机构或论文数据库使用或收录本学位论文,并向社会公众提供信息服务。
(保密的论文在解密后应遵守此规定)
研究生(签名): 导师(签名): 日期
摘 要
随着人们生活水平的提高,环境质量意识的加强,建筑美学的不断发展,建筑玻璃的多功能性越来越被重视,既要求它具有良好的透光效果和适当的视线遮挡功能,又要求它具有一定的环保节能性和色彩绚丽缤纷的美化装饰效果,这些要求传统的透明玻璃无法满足。本课题提出在普通平板玻璃片上镀制单层 TiN 薄膜,旨在寻找一种适合离线生产的简单经济的镀膜方法,制备集美观装饰及环保节能于一体的单层彩色镀膜玻璃。
本研究用常温零偏压直流反应磁控溅射的方法,在普通载玻片上制备了 TiN 颜色薄膜。研究了工艺参数对薄膜性能的影响:采用 XRD 及 EDS 测试薄膜的结构及成分,UV-Vis 测试薄膜的反射率,分光测色仪测量薄膜的色度值,AFM 观察薄膜的表面形貌,显微硬度仪测试薄膜热处理前后硬度值等。主要得出了以下结论:
(1) 用直流反应磁控溅射的方法,可以在室温玻璃基片上沉积出颜色丰富的 TiN 薄膜,包括银白色、紫色、蓝色、绿色、黄色、橙色、紫红色及其中间色等。通过大量实验,得出制备 TiN 颜色薄膜比较稳定的工艺参数范围为:溅射功率:200~25