m面蓝宝石衬底上ZnO外延薄膜的性能研究.pdf

胬侗κ�牡咨蟌�外延薄膜的性能研究计矗■全■代●●●牛●俸,鬣霸�猒�光·�件事术●仅崔军朋,段壶,王晓峰,曾一平采用�湎哐苌�Ⅺ�和双晶�湎咭“谇�����芯苛薢�薄膜的结构特征。利射峰分别对应于�靶的�射线及�陨湎卟��难苌浞濉F渲形挥���.������处薄膜自形成谐振腔的出现和��獗闷肿贤饧す獾幕竦谩��】,极大地鼓舞了人们的研究热情,成为生长��牧鲜苯铣S玫某牡字�弧�大部分��∧さ纳�ぱ芯烤��性诶侗κ�牡�蓝宝石衬底上生长了微米级的��∧ぃ�业玫搅私虾玫木�褰峁埂⒌缪�灾屎凸庋�灾省�用扫描电子显微镜���鄄饬薢�样品的截面,并测得了其厚度。同时利用室温光致发子水冲洗干净后放入甩干机中甩干,然后直接放入反应室。生长所用的源材料为纯度为�.��的衍射峰分别对应所生长��∧さ木���.��熬���.��难苌洌�挥���.��引言:��且恢中滦偷腎�á鲎逯苯哟�犊斫���衔锇氲继宀牧希�椅孪陆��矶任������,且激子束缚能高达����,具备了室温下短波长发光的有利条件。近年来��使得��晌<蘂�之后,宽禁带半导体光电材料领域研究的热点之一。为了获得高质量��ゾП∧ぃ�捎猛�释庋邮亲罴蜒≡瘛5�壳盎竦酶咧柿康腪�体单晶还比较困难,另外其生产成本也比较高,这两点直接限制了��宓ゾУ挠τ谩2捎靡�质外延的方法制备高质量��ゾП∧な侵档貌⑶艺�谔剿鞯姆较颍�蛭@侗κ�牧霞鄹裣�对较低,能得到大面积的单晶,且光透过率很好,可以透过波长高达��的光,因此蓝宝石的�妗�‘’。,�鎇����皉面�������胢面蓝宝石作为衬底的研究却很少【�】,本文在��本论文采用自行研制的�珼设备在�胬侗κ�牡咨铣晒ι�ち宋⒚准兜腪�薄膜,光��谱及霍尔���测试研究了��庋颖∧さ墓庋�灾屎偷缪�灾省�实验:蓝宝石衬底的处理步骤为:分别在无水乙醇、***、无水乙醇溶液中用超声波清洗�种樱�再分别在��篐��篐��:��及��篐��篐������的溶液中煮沸�种樱�萌ダ�%的�粒和��羝��仄�狽���の露任���,在常压下生长,生长时间为�∈薄�结果和讨论:图�T趍面蓝宝石衬底上所生长的���返腦射线衍射结果图。图中每组分裂的衍处的衍射峰对应����.���嫜苌洹S刖���.��难苌淝慷认啾龋��.��娴�衍射强度很小,说明所生长的��庋颖∧さ闹饕>�嫖猰面。�����处的衍射峰来源于蓝宝石衬底的����晶面的衍射。由图�梢钥闯觯��さ腪�薄膜虽为多晶结构,但以����晶面为主,即在�胬侗κ�牡咨仙�こ隽艘詍面为主的��嗑Ы峁埂�中嗣科学院半导体研冗所新材料邵,北京�������������.∽.∞摘要:采用自行研制的��璞冈趍面蓝宝石衬底上成功生长了微米级的��庋颖∧ぃ�捎肵射线衍射���退ň�射线摇摆曲线���研究了所生长���∧さ慕峁固卣鳎��蒙�璧缱酉晕⒕���观测了之���返慕孛妫�⒉獾昧似浜���谱及霍尔���测试研究了��庋颖∧さ墓庋�灾屎偷缪�灾剩�关键词:�胬侗κ痁�外延薄膜微米级��
黧黧一。一图�猌�/�����结构横截面的��迹�赏伎煽闯鐾庋颖∧び氤牡椎慕缑媲逦��为了进一步研究外延��∧さ木�逯柿浚�颐嵌訸�样品的����晶面做了双晶�射线∞扫描的摇摆曲线,其半高宽为�����如图���。这说明虽然所生长的���延薄膜