微加速度传感器.ppt

微加速度传感器micro-accelerometer
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主要内容
微加速度传感器的简介
1
微加速度传感器的分类及特点
2
典型微加速度传感器的制造工艺
3
微加速度传感器的发展趋势
4
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微加速度传感器的简介
微加速度传感器的概况
微加速度传感器的原理
微加速度传感器的关键技术
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微加速度传感器的概况
微电子机械系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科,它以微电子及机械加工技术为依托,范围涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科,是一个新兴的、多学科交叉、多技术融合的高科技领域。
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微加速度传感器的概况
基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域。微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题。采用微机电技术制造的微加速度传感器在寿命、可靠性、成本、体积和重量等方面都要大大优于常规的加速度传感器,使得其无论在民用领域,还是在军用领域都有着广泛的应用。在军用上可用于各种飞行装置的加速度测量、振动测量、冲击测量,尤其在武器系统的精确制导系统、弹药的安全系统、弹药的点火控制系统有着极其广泛的应用前景。
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微加速度传感器的原理
惯性式加速度传感器的力学模型如下图所示。
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微加速度传感器的原理
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微加速度传感器的原理
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微加速度传感器的关键技术
微加速度传感器的关键技术
信号处理
横向灵敏度
频率响应
封装和阻尼
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信号处理
由于硅微加速度传感器的加工采用了与集成电路工艺兼容的制造工艺,将传感元件和信号处理电路集成在同一器件上,制造出“灵巧”传感器,使传感器的性能大大提高,给传感器的使用带来了极大的方便。将来的发展方向是除具有总合的上述功能外,还应有信号开关、信号滤波、信号处理、数据转换、存储和通讯等功能。
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