AZO透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究.pdf

广西大学
硕士学位论文
AZO透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究
姓名:张翔
申请学位级别:硕士
专业:材料工程
指导教师:沈晓明
20120628
该鞯嫉绫∧さ闹票讣捌涔獾缧阅艿难芯�摘要��×��.册和��×����ぁ?杉�馔干渎饰��ィ���矶�.��。膜为六角纤锌矿结构,沿�笤裼派�ぃ�耸北∧ぞ哂凶畹偷牡缱杪�关键词:��惶�舻绯兀籔�;趾掺杂;电阻率��魑R恢挚斫��氲继宀牧希�溆涤凶帕己玫墓獾缧阅堋K�哂薪细叩�热传导性和热稳定性,和良好的化学性质,特别是它丰富的资源,低成本,低毒性,因此,使��谛矶嗔煊蛴薪洗笥τ们熬啊TK谿�琒�珹�珺和��粼�进入��梢允蛊湫阅芙�徊教嵘��τ靡不岣�庸惴骸=�┠昀矗�敛粼友�化锌薄膜引起了人们极大地关注,其光电性能可比��该鞯嫉绫∧ぁ<由掀�稳定的化学性能和机械性能,可以使其适用于各种应用领域,例如气敏组件,平面直角显示器,太阳能电池等。在本文中,使用脉冲激光沉积在载玻片衬底上和��嫉绮AС牡咨希�直鸪粱鼳�篫�,并研究了薄膜的结构,形貌,电学等性能。主要结果如下:��谋涑粱�跫��绯牡孜露龋�跗�盅沟龋�谠夭F�虸�导电玻璃上制备了高度�嵩裼湃∠虻腁�薄膜,当温度较低时,在载玻片和��嫉绮A�暇�形成非晶薄膜。氧气分压过高或者过低也会生成非晶薄膜。��谠夭F�牡咨希�露壬�呋岬贾卤∧そ峁贡洳睿��贗�导电玻璃上膜结构受温度影响较小。在��嫉绮AС牡咨铣粱�植诙缺仍谠夭F�细�蟆���∧さ缱杪仕嫖露壬仙�壬仙�笙陆担�蔽露��℃,气压���和���,薄
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第一章绪论��引言��幕�拘灾�注,风能,核能,地热能,潮汐能等的研究利用使化石能源的消耗所占比例逐年背景下,一些新型半导体材料的太阳能电池研究成为热点,其中美国已经研制出和�浔任猯:�笔遣坏嫉绲模��ǔG榭鱿拢�捎谛咳毕莼蛘哐跞毕荽嬖谕�随着不可再生的化石能源日益消耗,新能源的开发利用受到人们的更多关减小。而太阳能是一种稳定,清洁,安全的新能源,并且可以有效的减缓地球日益变暖的趋势,成为目前科技工作者的热门研究课题。其中,以硅材料的原料的单晶、多晶太阳能电池技术已经相对成熟,并且实现大规模的工业化生产,其产量在所有太阳能电池产量的比例达到�%以上。然而传统硅材料的太阳能电池由于其较低的能量转化率和相对较高的生产成本成为限制其发展的重要因素。在此效率高达�%的砷化镓���太阳能电池,而实验室条件下单晶硅太阳能电池转换效率仅有�%。可见薄膜太阳能电池代替传统硅太阳能电池有着极其光明的前景。而��则为其中一种重要的太阳能电池材料,其优良的光电性能,受到人们越来越多的关注。��烫迨且恢治薅荆�咨ɑ虻�粕ǚ勰����灾式衔N榷ǎ琙�在�往使其呈现一定的导电性。��魑R恢諭��鲎寤�衔锇氲继澹�V苯哟�栋�导体材料,室温下禁带宽度�����ぷ邮�磕���琙�薄膜具有很高的可见光透射率,温度稳定性好,较低的电阻率,良好的室温发光,以及光电压电性能。由于���戏岣唬�阅苡帕迹�胰菀字票福�蛊湓谧贤馓讲馄鳎�獾缙�件集成,声波表面器件,发光器和激光器,以及太阳能电池等方面有广泛的应用。��木�褰峁���腥�志�褰峁梗�姆窖已慰蠼峁梗�列靠蠼峁购拖诵靠蠼峁梗�渲邢�锌矿能量最低,是室温下存在的最稳定的氧化锌的结构,如图��。其次为亚稳广