薄膜材料的制备.pptx

2018/9/121主要内容薄膜的制备方法,含:---真空技术基础---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜2018/9/122真空技术基础真空及真空的常用单位真空的分类真空泵真空的测量2018/9/123真空及其单位真空是指低于一个大气压的气体空间。常用“真空度”度量。真空度越高,压强越小。常用计量单位:Pa,Torr,mmHg,bar,atm.。关系如下:1mmHg=,1Torr=atm/760=≈1mmHg1bar=105Pa2018/9/124粗真空:1×105~1×102Pa目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺低真空:1×102~1×10-1Pa真空热处理。高真空:1×10-1~1×10-6Pa真空蒸发。超高真空:<1×10-6Pa得到纯净的气体;获得纯净的固体表面。真空的分类2018/9/125真空系统的组成典型的真空系统包括:---真空室(待抽空的容器);---真空泵(获得真空的设备);---真空计(测量真空的器具);---必要的管道、阀门和其他附属设备。2018/9/126真空泵获得真空的设备。至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此,:能使压力从1个大气压开始变小,进行排气的泵次级泵:只能从较低压力抽到更低压力的真空泵。如机械泵+扩散泵系统,为有油系统;吸附泵+溅射离子泵+钛升华泵系统,为无油系统。2018/9/127主要真空泵的排气原理与范围2018/9/128真空的测量热偶真空计:利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理制成的真空计。典型的有热阻真空计和热偶真空计两种。电离真空计:目前测量高真空的主要设备2018/9/129主要内容薄膜的制备方法,含:---真空技术基础;---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜2018/9/1210PVD的含义物理气相沉积PVD(PhysicsVaporDeposition,主要是在真空环境下利用各种物理手段或方法沉积薄膜。