微电子的过去 现在和未来.doc

微电子的过去_现在和未来本文由woaixi27贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。,现在和未来严兆辉(华中科技大学电子系武汉:430074)摘要本文从微电子技术产生的背景,过程,取得的巨大成果及目前发展的不利因素介绍了微电子技术的历史和现状;从前沿技术方面介绍了微电子技术的发展方向;介绍了中国在微电子技术上取得的成果和尚且存在的许多问题,:TN4文献标识码:A文章编号:1671-3524(2003)-02-0030-,,器件物理,工艺技术,材料制备,自动测试以及封装,组装等一系列专门的技术,,其核心是集成电路,即通过一定的加工工艺,将晶体管,二极管等有源器件和电阻,电容等无源器件,按照一定的电路互联,采用微细加工工艺,集成在一块半导体单晶片(如硅和***化镓)上,并封装在一个外壳内,,,适合进行大规模的批量生产,因而成本低,,二十世纪初开始发展起来的新兴技术,它在二十世纪迅速发展,,英国科学家弗莱明(JohnFleming)在像灯泡一样的玻璃管中加进第二个电极,从而发明了第一个电子管--二极管,,美国的德福雷斯特(LeedeForest)在灯丝和极板之间加入了栅极,从而发明了三极管,,三极管有更高的敏感度,而且集检波,,也广泛应用于家庭娱乐领域,如广播,收音机,电视机,甚至在飞机,雷达,,,电子管体积大,笨重,能耗大,寿命短的缺点,,,理论物理学家们建立了量子物理,1928年普朗克应用量子力学,提出了能带理论的基本思想,1931年英国物理学家威尔逊在能带理论的基础上,提出半导体的物理模型,1939年肖特基,莫特和达维多夫,,,,,实用的晶体管开发成功,,晶体管体积小,能耗低,寿命长,更可靠,因此,随着半导体技术的进步,,体积微