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清洁度检测作业指导书.docx

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清洁度检测作业指导书文件号D--09版本号01编制日期2014-11-2编制生效日期2014-11-2批准1准备146作业分析234事先将清洗剂PSC--001A清洗干净10清洗干净的镊子放在装有无水乙醇的干净的烧杯中清洁滤膜:用洗过的镊子夹取1片滤膜,目测滤膜表面有无可视的黑点、异物等,有的话废弃该滤膜,没有的话放入到洗过的装有清洗剂的玻璃器皿中。将洗净的滤膜放置到培养皿或者称量瓶中并放置到干燥皿中。789用清洗剂清洗漏斗将洁净的漏斗固定在抽滤瓶上。打开真空泵,向待检零件一端入口处注入适量的清洗剂取下架子,用清洗剂冲洗漏斗下端1516冷却完成后放在电子天平上称量将滤膜取出放在专用滤膜台上,并取出放置在干净的无水乙醇中的玻璃片将玻璃片放在滤膜上方将滤膜台放置到专用分析显微镜内并关好窗。513将干净且已称重的滤膜紧贴在过滤漏斗上11取出检测后的滤膜12干燥滤膜将已测滤膜放在干净的培养皿或者称量瓶中30分钟后取出滤膜放在干燥皿中冷却191718用专用分析显微镜系统测定滤膜上颗粒大小尺寸,记录检测结果将检测结果数据(零件名称、零件号、供应商、批次)登记在原始记录上,并用胶带将已测滤膜粘在原始记录上

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