磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织及性能.pdf

摘要江苏大学硕士学位论文.%的厶逦T希捎昧死涞染惭狗高温烧结,优化工艺获得质量优系靶材为溅射靶,设计和优化了射频磁控溅射制各当∧さ墓ひ眨⒎直鹨,靶材一基离开玻璃衬底越近,晶粒越小。当砻嫖⒐坌蚊参O感〉鹤吹牧ぁ划痕法测试薄膜—基体界面结合强度阶帕结果表明:在玻璃衬底和聚该鞯嫉绫∧ぷ魑R恢种匾5男滦斯獾缱有畔⒉牧希唤鼍哂性诳杉区高的透过率、在红外区高的反射率以及较高的电导率等光电特征,而且具有成本低、资源丰富际荌康、无毒性、高的热稳定性和化学稳定性等优势,有望成为∧さ奶娲罚⒃谔裟艿绯亍⒁壕允酒鳌⒌绱欧护屏等领域具有广阔的应用前景。,简称现聘鱖透明导电薄膜,利用和认执治鍪段研究了薄膜的化学成份、相组成和微观形貌,研究了薄膜的光学和电学特性,并对薄膜的透光和导电机制进行了讨论。实验结果表明:.%的厶逦T材料,采用冷压成型和优化的烧结工艺,成功制成了具有.%的收缩率的单一胁暮サ氖账趼实腪复合靶材,并满足了实验用射频磁控溅射制备当∧ぐ胁牡母咧旅芏纫G蟆射频磁控溅射法制各当∧さ难芯勘砻鳎翰捎么慷任%的自制普通玻璃和有机聚酰亚胺为衬底在高纯的氩气中成功制各了单一∧和疧复合薄膜,研究了主要溅射参数对薄膜的微观形貌图挠跋规律。获得的最佳的工艺条件为:溅射功率⒔,溅射时间婵斩任ב利用湎哐苌湟莊、电子探针、能谱分析⒃恿ο晕镜确治鍪侄味运频玫谋∧こ煞帧⑾嘧槌杉拔⒐坌蚊惭芯勘砻鳎菏笛橹各的低该鞯嫉绫∧の6嗑Я窍诵靠蠼峁梗哂面的择优生长取向,其中原子以替位式出现在晶格中。溅射过程中无需对村底进行加热,溅射后也无需对薄膜进行退火处理:低该鞯嫉绫∧こ手瓷ぃ峁狗浅=裘埽⑶酰亚胺衬底上制备的高质量的薄膜都具有良好的附着性。其中,聚酰亚胺衬底上制备的薄膜经过多次折叠,没有发现龟裂和脱落现象。疓F潜∧さ墓庋匦圆馐院头治霰砻鳎涸诓AС牡缀途埘Q前烦牡咨铣。
江苏大学硕士学位论文积疓薄膜在可见光范围内的最高透光率分别达到了%平。此外,∧さ耐腹饴是叩奈毡不同与玻璃衬底薄膜,而向长波方向移动。∧さ耐腹饣圃谟冢篫是一种宽禁带直接带隙半导体材料,价电子所处的能带是满的。它不能吸收光子而自由运动,丽可见光区的光子能量又不足以使价电子跃迁到导带,并且械娜毕和外部掺杂可显著地改变它的禁带宽度。所以提高∧さ耐腹饴室?刂扑生长条件,使得晶粒尺寸合适,晶粒取向性好且结构致密。疓薄膜的∧さ牡缪匦圆馐院头治霰砻鳎翰AС牡缀途埘Q前衬底上制备的疓。.,聚酰亚胺薄膜的电阻率要大一些,其原因可能是聚酰亚胺衬底表面惰性大,与薄膜的晶格匹配不如玻璃衬底好。单一さ牡缱杪矢叽甤鬐疓号或篏复合薄膜的电阻率将降低好几个数量级,可以达到。甤∧さ牡嫉缁圃谟冢捍咏峋аЫ嵌壤纯矗琙具有纤锌矿结构,在其八面体和四面体问隙中有较大的空隙,而衂颖萇原子的半径小,因此很容易进入间隙位置形成毕荨K訸薄膜中的偷嫉缰饕J荶缺陷的贡献。在掺杂时,取代”的位置同时提供一个多余的电子作为载流子,这样使得膜的载流子浓度随着掺杂比的增大而增大,导致电阻率明显减少。关键词:该鞯嫉绫∧ぃ趴亟ι洌腹剩缱杪
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指导教师签名:易哆寸‘≯新年∥月铡。彬年。隆日学位论文版权使用授权书学位论文作者签名:儡喂不保密团。保密口,在本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学位保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权江苏大学可以将本学位论文的全部内容或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于年解密后适用本授权书。/
沁年瓺了曰学位论文作者签名:帆本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容以外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研全意识到本声明的法律结果由本人承担。日期:究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完,
第一章绪论选题意义因此,半导体材料无论是从研究和应用方面都具有十分诱人的发展前景。诸多方面有着十分广阔的应用。目前,大屏幕、高清晰度液晶显示普及迅速,其需火车飞机用玻璃除霜、建筑物幕墙玻璃等方面获得广泛应用,形成~定市场规模。般是玻璃和陶瓷。但是,与硬质材料衬底上沉积的は啾龋