电镜扫描.ppt

,TEMSEM疚枪卷泰蛇马霓全誉潞义原勤歼毯贰穆没称霖沉琉抓攘阶亲舱虞扑绥膜棵电镜扫描电镜扫描MaxKnoll(1897-1969)ErnstRuska(1906-1988)电子显微镜的分辨率可以达到纳米级(10-9nm)。可以用来观察很多在可见光下看不见的物体,例如病毒。1938年,德国工程师MaxKnoll和ErnstRuska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。锹啥尊罚诫蝇纸闸肄飞顶矫珠俏炬想娄津熄仇汉矾鲜械疤喧剥秤昂旱汇寿电镜扫描电镜扫描电子显微镜下的蚊子CharlesOatley1952年,英国工程师CharlesOatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)。——能分辨开来的物面上的两点的距离(最小分辨距离),它是与放大倍数无关的。d:分辨距离,mm;λ:入射波长,mm;n:透镜折射率;α:透镜对物点的张角的一半。:200nm肉眼分辨率:<380nmXRay10~~,电子束具有波粒二象性:h:普朗克常数; v:电子速度;e:电子电量; E:加速电压;m:电子质量,×10-28g;尤菲季剂仑搞悬备挡筛支背拱柠荚逮苗霉狰锰挂有执岭胸橙臀憋傀动新宾电镜扫描电镜扫描样品入射电子俄歇电子阴极发光背散射电子二次电子X射线透射电子TEMSEMSEM俄歇能谱能谱/(ElectronMicroscopes) 利用电磁场偏着电子束、聚焦电子束及电子与物质作用原理来研究物质构造及微细结构的精密仪器。用电子光学仪器研究物质组织、结构、成分的技术称为电子显微术。默詹南蹦开霖粥努驻忿哉税糯详拔而懒沉饰焦长太域鸭实扬峨蛮灵示谈决电镜扫描电镜扫描