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第14章电子探针X射线显微分析.ppt

文档分类：医学/心理学 | 页数：约23页举报非法文档有奖

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,元素分布。分析精度高:万分之1~万分之5。分析区域小:微米数量级。主要用于成分分析。可以同时给出微区显微组织和微区成分。电子探针X射线显微分析仪波谱仪工作原理约翰孙型聚焦法分光晶体入射电子接收器波谱仪(WDS)X射线在晶体上的衍射规律符合布拉格定律用一块晶面间距已知的单晶体,通过试验测定衍射角θ,再用布拉格方程计算波长λ,用它来研究X射线谱。强度合金钢定点分析—WDS谱线图图中横坐标代表波长,纵坐标代表强度。谱线上有许多强度峰,每个峰在坐标上的位置代表相应元素特征X射线的波长,峰的高度代表这种元素的含量。在进行定点分析时,可以在某些特定位置测到特征波长的信号,经处理后可在荧光屏或X-Y记录仪上把谱线描绘出来。WDS分辨率高,%,缺点是分析速度慢。WDS特点电子探针能谱仪工作原理不同元素的特征X射线波长不同,特征波长的大小取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量ΔE。能谱仪就是利用不同元素的X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。锂漂移硅检测器能量谱仪的方框图计算机锂漂移硅检测器X射线光子一个X射线光子造成的电子—空穴对的数目为N,N=ΔE/ε。ΔE:X射线的特征能量。εo产生一个空穴对的最低平均能量。

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