MEMS麦克风介绍课件.ppt

MEMSMicrophonePresentationMEMS技术介绍MEMSMicrophone介绍MEMSMic优点ProductionProcessApplicationofProductsAACMEMSMicrophone产品简介MEMS(MicroElectromechanicalSystem,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来MEMS具有以下几个基本特点,微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产.    MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面::    在当前MEMS所能达到的尺度下,宏观世界基本的物理规律仍然起作用,但由于尺寸缩小带来的影响(ScalingEffects),许多物理现象与宏观世界有很大区别,因此许多原来的理论基础都会发生变化,如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等,因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。这一方面的研究虽然受到重视,但难度较大,往往需要多学科的学者进行基础研究。:    MEMS的技术基础可以分为以下几个方面:(1)设计与仿真技术;(2)材料与加工技术(3)装配与封装技术;(4)测量与试验技术;(5)集成与系统技术等。:    人们不仅要开发各种制造MEMS的技术,更重要的是如何将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合,制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。,、微集成转换电路(放大器)、声腔及RF抗噪电路组成。MEMS微电容极头部分包含接收声音的硅振膜和硅背极,硅振膜可直接将接收到的音频信号经MEMS微电容传感器传输给微集成电路,微集成电路可将高阻的音频电信号转换并放大成低阻的音频电信号,同时经RF抗噪电路滤波,“声--电”&MEMSDieAACMEMSMicrophone产品简介MEMSMicrophoneProfileAACAcousticportholeLWH4213PIN#,,