扫描电镜.doc

扫描电子显微镜科技名词定义中文名称:扫描电子显微镜英文名称:scanningelectronmicroscope;SEM定义1:用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。所属学科:机械工程(一级学科);光学仪器(二级学科);电子光学仪器-电子显微镜(三级学科)定义2:应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。所属学科:细胞生物学(一级学科);细胞生物学技术(二级学科)本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布百科名片扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。目录扫描电子显微镜SEM机构组成SEM的工作原理SEM基本参数电子显微镜发展历史SEM的应用扫描电子显微镜简介扫描电子显微镜三大组成扫描电子显微镜工作原理扫描电子显微镜应用:扫描电子显微镜SEM机构组成SEM的工作原理SEM基本参数电子显微镜发展历史SEM的应用扫描电子显微镜简介扫描电子显微镜三大组成扫描电子显微镜工作原理扫描电子显微镜应用:展开编辑本段扫描电子显微镜  扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscopy,SEM) 扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。编辑本段SEM机构组成扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。以下提到扫描电子显微镜之处,均用SEM代替真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所