GaN基LED中AgITO复合膜的光电性能研究.pdf

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鵏中/春夏さ墓獾缧阅苎芯喻斌,王玉霞实验峁吞致引言斜冉细叩牡嫉缧砸约霸诳杉夥段诘母咄腹剩运还惴旱挠τ糜贚作为狦的透明电极提高外量子效率。但是,由于很难形成高掺杂浓度的狦‘以及瓽本身具有%的透过率。/嗖隳び隤型哟ナ笨梢缘玫絝一慕哟サ缱韬驮火分钟后,~/ど瞎饪坛鲈残未湎咄夹危渲心谠舶刖段穖,外圆与内环半径之差从穖至卜詈笥半导体参数测试仪测量出猇曲线,用圆形传输线模型公式计算出接触电阻。,接触电阻始终很难低于。·因此作为固态照明应用的高功率狶来说,较低的接触电阻和高可靠性的团纺方哟ナ枪丶M火是最常用的减小欧姆接触电阻的方式,但是方块电阻会随着退火温度和时间的增加而变大。增大的方块电阻会明显的阻碍电流的扩展形成电流拥塞现象降低大功率;耐饬孔有省NA颂岣咄饬孔有剩需要同时减小屯该鞯缂ǖ慕哟サ缱枰约胺娇榈缱琛R虼讼馧∥琙疘等很多种金属掺杂的薄膜已经被研究,/该鞯缂隤型梢孕纬伞×一的接触电阻和在超过波长超过%的透过率。·报道蜪具有更加优异的性能,其中在耐腹食%、与狦的接触电阻为ב茿∥姆娇榈缱璨⑽囱芯俊本沦文的主要日的是为了制备出有较低的方块电阻和接触电阻以及较高的透射率,通过改变插入层的厚度、退火温度以及退火时间,研究/墓獾缧阅芗氨浠媛伞S梅止夤舛燃撇饬客干渎剩冒导体参数测试仪测试方块电阻和接触电阻。实验结果显示,当./ぴ℃的压缩空气中退采用双面抛光的蓝宝石和狶外延片作为衬底片。用磁控溅射的方式分别将、厚的沉积在蓝宝石衬底上,再将竦腎:び玫缱邮日舴⒌姆绞匠粱贏上,最后将/膜在退火炉中退火,退火温度从嬷℃间隔,退火时间从种又种蛹隔种印S梅止夤舛燃撇饬客干渎剩冒氲继宀问饬恳遣饬糠娇榈缱韬虸—撸猛姆绞浇/。,然后进行同样的退火工艺,在退火后的透过率图显示./膜经过娴℃和种拥种拥耐嘶鸷笤波第卷第长春大学学报年ご豪丁笱Ц吖β拾氲继寮す夤抑氐闶笛槭遥ご摘要:制备含有不同厚度.、的/嗖隳こ粱谝岳侗κ3牡椎耐庋悠喜⒂,经过一定的退火处理。研究了厚度、退火温度、退火时间对/嗖隳さ耐腹省⒎娇榈缱韬徒哟サ缱率的影响。得出这种光电性能优良的蜪膜作为屯该鞯缂τ糜诖蠊β蔐有广阔的前景。关键词:/籔—煌腹剩环娇榈缱瑁唤哟サ缱中图分类号:文献标志码:文章编号:——一收稿日期:—作者简介:喻斌,男,江苏徐州人,硕士研究生,主要从事光电子理论及应用研究。痵.
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不同厚度的蜪膜在枷。℃的温度中退火种雍℃和奈露认峦嘶种邮保腹史直鹞ズァM糽允続/ぞ℃到婧分钟到分钟的退火后在ǔさ耐腹剩峁允镜蓖嘶鹞露且增加的退火温度会使层氧化形成纳米颗粒矩阵从而增大/さ耐腹省长的透过率,结果显示当退火温度在妗℃和娴氖焙颍珹疘的透射率始终低于%,当低于保渫腹实陀ィ蓖嘶鹞露却锏℃和媸蓖腹拭飨栽龃蟆M允続疘ぞ℃到婧分钟到分钟的退火后在ǔさ耐腹省4油—中我们能够看出的厚度对蜪的透过率有显著地影响,的厚度从跣〉.嘤Φ最佳透过率从%增加至%。同一厚度的/さ耐腹仕孀磐嘶鹞露群屯嘶鹗奔涞脑黾佣龃蟆导致这种透射规律的原因可能是退火增加时尤菀自俳峋纬晌榷ǖ幕Ы峁挂约癐的氧化。而第喻斌,等:鵏中/
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阻,从图可以看出退火温度低于媸盇疘的方块电阻从畇郝黾拥彤,当在嫦峦