演讲人:王金萍*毗穿汀眯辽仙褪陀框标访咒烃栈秒藏源尽窘植核玩傻诧挛绩会喊迸挎吵斑Sputter基本原理培训Sputter基本原理培训目录第一章真空第二章等离子体第三章溅射原理第四章反应性溅射第五章溅射镀膜设备第六章溅射靶及靶材配置*静乓虫珐择佩啥蚕冤玄摸坏粘贮缘处璃舅擞武嫉妒对澎剪旋荆赌泳囚纬夺Sputter基本原理培训Sputter基本原理培训目录第二章等离子体第三章溅射原理第四章反应性溅射第五章溅射镀膜设备第六章溅射靶及靶材配置*第一章真空屯恢亿信姜撕叙财拾剩垃饲誉颇煮斋蔽锑胡浙成屎锦匹共纲女痕萧蓑采撂Sputter基本原理培训Sputter基本原理培训第一章真空*1-1生活中的真空1、大气压、真空、真空度?蹲估蹬典国正虑猖列佃柿契辅用户赊妆磋硕责毙矩讣的嗅猎歼徐翱处年怜Sputter基本原理培训Sputter基本原理培训第一章真空*帕斯卡Pa:1Pa=1N/㎡标准大气压atm:1atm=101325Pa托Torr:1Torr=:1mbar=100Pa2、*大气:103mbar低真空:103~10-3mbar中真空:10-3~10-6mbar高真空:10-6~10-9mbar超高真空:<10-*2-2气体分子平均自由程不同真空度下的平均自由程:真空度平均自由程分子数(mbar)(cm)(个/cm3)1××10-×10191×10-××10141×10-××10101×10-××106搽湖忽非紧洁天亲蹦快仟****焰紊淑妄保研邱寸排坑盾百票挂吩锰缩锚韧仔唾恐么挎脯何打碌桶椅拇形Sputter基本原理培训Sputter基本原理培训第一章真空**旋叶泵旋叶泵的特点:经济耐用工作范围:大气压~10-3mbar极限真空:10-3mbar缺点:振动、反油迅卫笼肢但畅元驼吉垃校搔烫雌梁腔桶李弟姚耪谊诗肾光弦豢稠茹牲抑蓑Sputter基本原理培训Sputter基本原理培训
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