单晶炉操作规范(071208修订稿).doc

单晶炉操作规范(071208修订稿)生效日期:2007年12月12日1、目的为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→(二次加料、再熔料)→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、、鞋。,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。、扳手和各类装拆炉专用工具。、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。,擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。,,关闭氩气总阀门(先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到30L/Min,再关闭氩气进气总阀门,主、副室流量计调节阀仍然保持打开状态),开始抽高真空,并作时间记录。(要求达到3Pa以下)后,先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。,,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。,检漏时间,极限真空,漏气速率等记录。:2007年12月12日热态检漏后,充氩气至常压,关闭氩气,打开副室小门(在此之前须先拧松副室小门的螺丝)。提升单晶至副室(提升单晶时注意单晶通过副室炉径处不得有碰撞),从副室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,打开液压泵,升起副室。把安全接盘移到炉筒口处晶体下方(若晶体过长,则需连同炉盖一起同步转动),缓慢转动副室至侧面。把取单晶的架子放在副室炉筒正下方,准备接单晶。稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。确认单晶完全入架子内后,按住籽晶,用钳子将籽晶从细径处钳断,钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至副室内适当位置。将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,并观察晶体的颜色及籽晶是否积渣等,做好相应的记录。待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。)打开液压泵电源,按炉盖升按钮上升炉盖。炉盖上升到位后,再旋转炉盖到侧面。2)戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车上,注意要拿稳并轻放。3)在整个拆装炉过程中,严禁赤手接触石墨器件,石墨器件安放必须在清洁好的不锈钢小车或平板上。4)仔细观察炉颈﹑石英坩埚埚口是否积渣及石英坩埚是否变形,导流筒,看导流筒是否有开裂、粘硅现象,并及时做好相应的记录。5)戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起,使其松动,将石英坩埚取出。若石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒;若不能则将先取出石英坩埚,剩下的埚底料随三瓣埚一并取出后,再将埚底料放入不锈钢筒内。若出现闷炉等意外情况则用专用工具夹住石墨三瓣埚一起取出或钳子像装料一样一块块取出,直至彻底取出。最后将不锈钢筒移到指定地方,并写上单晶编号,自然冷却。冷却后对埚底料进行重量检测并作好记录。浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号:Q03-JS-1版本号:A/3页码:单晶炉操作规范生效日期:2007年12月12日6)7)8)9)戴好耐高温手套依次取出三瓣埚、埚底放在装石墨件的不锈钢小车上,三瓣埚放上后要注意放稳当。用埚杆板手从埚杆中央孔的位置拧下不锈钢螺丝,取出埚杆板手,再将埚杆连不锈钢螺丝放在不锈钢小车上,注意堆放稳当。仔细观察石墨三瓣埚,看是否有埚底部漏硅、开裂,埚杆、加热器,是否有损伤、断裂,电极是否有打火现象,排气管是否有阻塞现象,并及时做好相应的记录。取出的石墨件一并放在不锈钢小车上,在不锈钢小车边挂上石墨件所属炉号牌,移到指定的位置,自然冷却,移动过程中注意石墨件放置,防止坠落。石墨大件的取出(一般5炉做一次,须作好大清记录)1)取出上保温罩放在不锈钢小车上。2)取下热电锥,将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置以放损坏丢失。3)打开油泵开关,按住炉筒升