超精密三坐标测量仪整机机构设计（有图CAD有真相）.rar

摘要本文中,对三坐标测量仪的研究现状和精密测量的关键技术做了总结,对所设计的测量仪的总体布局、床身的选材、导轨的设计、进给方式的选择做了介绍,选用燕尾型气体静压导轨,同步齿形带和钢带传动,摩擦杆进行驱动。对移动桥和溜板进行了简单的ANSYS分析,计算了移动桥受力时最大的变形量和直线度;选用伺服电机作为动力源,并对其进行了简单的功率计算,分析了测量仪的工作环境对其精度的影响和它的应用环境;定位采用开式光栅尺,对光栅尺的选型做了比较。最后针对测量仪整机进行精度分析,查找误差源和精度的综合分析。关键词:超精密、气静压、高精度、精密测量ThreeCoordinatesMeasuringInstrumentUltra-precisionMachineABSTRACTInthispaper,threecoordinatesmeasuringinstrumentforprecisionmeasurement,theresearchpresentsituationandthekeytechnologyofsummingup,thedesignofmeasuringinstrumentlathebedofthegenerallayout,thedesignoftheselectionofmaterials,guiderail,intotothechoiceofthewaysofdoingintroduced,choosecoattails"typeaerostaticguiderail,synchronouscogbeltandsteelbelttransmission,,thelargestmobilebridgewhenstressdeformationandstraightness;Chooseservomotorasapowersource,andanalysesthesimplepowercalculation,analyzestheworkingenvironmentofmeasuringapparatustotheprecisionoftheinfluenceanditsapplicationenvironment;,accordingtothemeasuringapparatusforprecisionanalysis,:Theultraprecision,Gasstaticpressure,uracy,Precisionmeasurement目录1绪论 62超精密三坐标测量仪整机机构介绍 173测量仪的主要零部件的设计 264测量仪精度分析 295结束语 32参考文献 33致谢 ,实施大学本科教改计划,北京微纳精密机械有限公司与中原工学院联合实施“卓越工程师”的培养计划。由该公司接收中原工学院大四学生来公司实****并完成毕业设计,为学生走上工作岗位提供一个锻炼自己的平台。本课题来自北京微纳精密机械有限公司,在学校和公司的商讨后,确定了我的课题:超精密三坐标测量仪整机机构设计。:一方面将促进超精密光学、机械制造技术快速发展,填补我国相应领域的技术空白;另一方面将提高我国产品质量和市场竞争力以及我国测量仪器的性价比水平。,体现国家工业与科技水平。国民经济和先进制造的不断发展对精密测量提出了新的要求,因此,提高精密测量水平,对提升我国先进制造能力,促进国民经济发展具有重要意义。随着近20年科学技术的迅速发展,对仪器精度要求出现了数量级的变化。从精密测量(~),发展到超精密测量(~),近年来又提出纳米精度测量(5nm~)的要求。据专家们的推测,随着精密工程技术、尖端科技和空间技术的迅猛发展,轮廓形状允差为50nm~5nm,尺度允差为100