2021年沉铜基础工艺培训教材.doc

沉铜工艺培训教材
欧伟标
沉铜步骤介绍
经过化学方法对已钻孔孔壁进行清洁除污（又称凹蚀、前处理）,然后经过后续电镀工序使孔壁铜层增厚.
磨板→上板→ [溶胀→二级水洗 →凹蚀→三级水洗 → 还原P →二级水洗 ]→除油I →除油II →三级水洗→微蚀 →二级水洗 →预浸 →活化→二级水洗 →还原WA →纯水洗 →化学沉铜→三级水洗→ 卸板→清洗烘干
红色方括号内为多层板必需走去钻污步骤。新沉铜平板一体线没有凹蚀段，在该线生产多层板需先走水平凹蚀线。任何板件全部不许可走两次凹蚀！若板件在凹蚀缸时设备发生故障，需待板件凹蚀时间够了以后再人工把挂蓝抬出来，返工时就无须再走一次凹蚀。设备故障时板件也不应在各药缸停留时间过长，按以下时间控制：
停机时间
必需立即吊出
超出10分钟
超出15分钟
超出25分钟
应吊出药缸名称
微蚀缸
溶胀缸
凹蚀缸
还原P缸
除沉铜缸外全部缸
沉铜缸
沉铜缸开打气
在正常条件下，水平凹蚀线凹蚀量和芯吸量全部要比垂直凹蚀线小，但凹蚀效果来看，水平凹蚀线凹蚀效果比很好。有锣槽孔板件全部指定在水平凹蚀线生产。
2．步骤作用及原理
磨板
自来水喷嘴
自来水喷嘴
自来水喷嘴
自来水喷嘴
不锈钢辊
不锈钢辊
不锈钢辊
不锈钢辊
针刷
针刷
针刷
针刷
不织布刷
不织布刷
不织布刷
不织布刷
针刷
针刷
针刷
针刷
不织布刷
不织布刷
不织布刷
不织布刷

板件进入沉铜之前要在去毛刺磨板机磨板，磨板作用：，预防披锋在后续图形转移过程中划伤贴膜机压辊和刺破干膜造成遮孔蚀不静；，并粗化铜箔表面，增加后续铜层和基铜结协力；、板粉等杂物。去毛刺机前两支不织布刷240#，后两支针刷320#。蚀刻后板件板件假如出现铜粒、轻微镀层不良、氧化等也会在去毛刺机磨板，但这类板件不能开不织布刷！。
磨板对象
磨刷类型
压力
div
速度
m/min
高压水洗
bar
烘箱温度
t
1/2级
3/4级
沉铜前往毛刺
240#
320#

-
≥25
≥70
平板后磨板
240#
320#
-
-
≥25
≥70
蚀刻后磨板
关
320#
-
-
≥25
≥70
假如试磨后板件出现披峰, 则可在上述范围内降低速度, 增大压力或横向纵向各磨一遍重新取板试磨。假如试磨后出现铜丝或既出现铜丝又出现披峰,则以小 压力() 快速(≥／min)横向、纵向各磨一遍, 重新试磨。要注意控制好不织布刷压力，尤其是蚀刻后板件，压力过大很轻易出现孔口铜被磨去，而沉铜前板件则轻易形成椭圆孔型。，这类板件做法是不开不织布刷，把针刷压力调3~，，试做确定正常后使用。陶瓷板、、折断等，所以能够不开高压水洗。
去钻污步骤作用
钻孔时会产生瞬时高温，而环氧玻璃基材为不良热导体，在钻孔时热量高度积累，孔壁表面温度超出环氧树脂玻璃化温度，结果造成环氧树脂沿孔壁表面流动，产生一层溥环氧树脂油污（Epoxy Smear），假如没去掉,将影响沉铜/电铜层和内层铜面连接,所以,全部多层板均要经过凹蚀（也称除胶渣，Desmear）处理除掉孔壁钻污。凹蚀作用是：除去孔内残胶，确保内层和外层线路导通；提供蜂窝状树脂表面结构，增加孔铜结协力。
去钻污步骤原理
利用溶胀剂（Sweller）作用,把孔壁树脂膨胀疏松起来,然后在后面凹蚀处理中利用高锰酸钾强氧化性,把孔壁上钻污氧化掉而生成可溶性碳酸盐(在碱性条件下)，。锰酸根在碱性介质中也发生以下副反应：MnO4（2-）+2H2O+2e- =MnO2↓ +4OH-，所以经过凹蚀后孔壁上残留大量高价锰(+7、+6、+4)，还原P500作用就是把这些高价锰还原成可溶性二价锰，从而除去；同时对玻璃纤维有调整作用，使其易于沉铜。
溶胀缸关键控制是：溶胀P、NaOH浓度，温度，还要有良好循环。溶胀P浓度过低不能充足蓬松孔壁，浓度过高，不仅浪费药水，还引发后水洗水洗不净，带来药水交叉污染。NaOH浓度