双波长数字全息干涉及其在光学测量中的应用研究硕士论文.pdf

兰&盈也タ鴌邀立&鸷§塑』豳垒控‘‘—’—!!!!!!!!!!!!!。。—。。!!!!‘。。。’。。’】‘一作者名教师学院专业指导合作姓名称名称导师
论文作者签名:鞲导师签名:现誊日期皿阳校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复:和屯子版,允许论文被查阅和借阅:本人授权¨ù笱Э梢越ū狙宦畚牡娜ú炕虿糠内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。C苈畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑口
●
些查查耋堡圭耋竺篁塞目录数字全息的基本概念及其特点⋯干涉测量技术⋯⋯⋯⋯悴ǔな仲谙涉及其心煊芯磕谌萦胝陆诳蚣章数字全息干涉测黾基本原理数字全息的基本原理⋯从数字全息嫱贾刑岫占锹济嫔系奈锕獠相位解包笫三章双波陡数字全息嬗糜诒砻婷嫱庑捎萌〔ǔな秩⒏缮娌馔辣砻婷嫘蔚脑矸治觥计算机模拟实验⋯⋯光学实验验证⋯⋯⋯⋯第四章般波长数字仝息干涉诠庋Х蔷刃圆饬俊光学非均匀性及其测量方法简介⋯采用双波长数字企息二荷娌饬抗庋Х蔷刃缘脑矸治扑慊D馐笛庋笛檠橹第五章总结与后续工作“全文总结⋯后续工作参考文献主要科研成果致谢摘第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯〗帷⋯⋯⋯⋯⋯’..
生查查茎至圭兰堡堡圣州”.⋯.小..·.⋯..⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯.....⋯.⋯⋯⋯...⋯一..⋯.甤..⋯........⋯口⋯.........⋯.⋯.⋯.⋯...●...........,.....
生查查兰圭兰堡堡圣摘要光学干涉测睦技术是光学检测领域的一个重要分支,具有高精度、高分辨牢羊¨非接触无损伤等优点。数字全息技术可定量再现三维物光波的十恍畔ⅲ诔像与检测等领域具有广泛应用,是近年来现代光学中备受人们关注的研究领域之一。。本文根据数字全息及光学干涉测量的特点以及数字全息娼昀丛诠庋Р饬糠矫娴研究进展,丌展了双波长数字仝息干涉及其在光学元件表面面膨与光学非均匀性测量方面的研究。9ぷ靼ǎ一、介绍了数’一全息的;己录与再现过程、再现算法:分离轴数字全息和同轴数字全息两种情况:介绍了从全息圈缮嫱中提取物光波波前相位分布的方法及棚位解包方法。二一讨论了取波长数字仝息干涉的等效波长及在等效波长范用内避免相位解包的原理和实现方法,。研究结粜表明,对于表面面形引起的波前程差小于等效波长的情况,双波长数字全息千涉可以直接克服相位的不确定性,无需十獍欢杂诒砻嫠恍我鸬牟口程差大等效波长的情况,可以先得到等效波长南辔环种桑缓笤俣缘刃Рǔは碌南辔环植冀星位解包,这样可以简化柏位解包过程、提高相位解包算法抗噪声喝诺哪芰Γ┱苟位解包算法的适用范围。该研究证州了采用双波长数字仝息干涉测量光学元件表丽而形的可行性和优点。三三、从经典色散理论出发,首次推导了光学非均匀性与光波跃之问的关系,得出在一定波长范围内不同波长条件的光学非均匀性近似十鹊闹匾=崧佟;上述结论,针对现有光学非均匀性测量方法的不足,首次提出了基于双波长数字全息娌饬抗庋Х蔷刃缘男路椒ā8莶牧系纳ḿぬ匦圆⒔岷鲜瓾移数字仝息I娴脑恚隽瞬稍翵双波秩⒏缮娌饬抗庋Х蔷刃缘脑砗褪迪址法,并进行了计算机模拟实验和光学实验验证。研究结果证明了所提出的原理与方法的可行性与一确竹:。泼方法具喝鏔优点:测量原理本身具有系统光路波阿
畸变自动补偿功能,测量过程无需调节待测样品,无需对待测样品前后表面的面形及平行度进行特殊精密加工,适用于多种不同类型的干涉仪结构。该方法为光学元件的光学非均匀性测量提供了新的解决方案。以上工作为后续的深入研究打下了基础。关键词:数字全息:光学干涉测量;双波长;表面面形澳《量:光学非均匀性山糸大学硕士学位论文
—琯,皃/
山东大学硕士学位论文瑂;;籱,’,:籵●