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半导体行业污染物排放标准
ICS
DB31
上 海 市 地 方 标 准
DB31/ 374— 2006
半导体行业污染物排放标准
The discharge standards of pollutants for semiconductor industry
（发布稿）
2006-×× -××发布 2007-02-01 实施
上 海 市 环 境 保 护 局
上海市质量技术监督局 发布
DB31/374 — 2006
目 次
前言 ................................................................................ II
1 范围 ............................................................................. 1
2 规范性引用文件 .......................................................... 1
3 术语和定义 .................................................................. 2
4 技术内容 ...................................................................... 3
5 监测 ............................................................................. 9
6 标准的实施与监督 .................................................... 13
I
DB31/374 — 2006
前 言
为贯彻《中华人民共和国环境保护法》 、《中华人
民共和国水污染防治法》 、《中华人民共和国大气污染
防治法》、《中华人民共和国海洋环境保护法》 ，加强半
导体企业污染物的排放控制，保障人体健康，维护生
态平衡，结合上海市实际情况，制定本标准。
本标准主要有以下特点： 1）适用于半导体企业水
污染物、大气污染物排放的管理； 2）水污染物排放根
据功能区执行分级标准； 3）大气污染物排放不根据功
能区进行分级； 4）对现有半导体企业规定达到挥发性
有机物（ VOC s）排放标准的时限，对其余污染源不再
按建设时间规定排放限值。
半导体企业的噪声控制、固体废物控制按国家和
本市的有关规定执行。
本标准实施之日起，半导体企业水污染物排放按
本标准执行， 不再执行 DB31/199-1997《污水综合排放
标准》；半导体企业大气污染物排放按本标准执行，
不再执行 GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》 。
本标准为首次发布。
本标准由上海市环境保护局提出并归口。
II
DB31/374 — 2006
本标准由上海市环境科学研究院和上海市集成电
路行业协会负责起草。
本标准由上海市人民政府