硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计.doc

硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计
第19卷第5期
2006年l0月
传感技术
ACTuATORS


MicroLeverageDesignforMicromechanicalSiliconOscillatingAccelerometer
QIUAn—ping¨,SUYah,SHIQin,HUANGLi—bin
/l_SchoolofMechanicalEngineering,NaiversityofScience&Technology,Naing2100941,China;,
&EngineeringofSoutheastUniversity,Nanjing210096,China/
Abstract:Amicromechanicalsiliconoscillatingaccelerometerwithamicroleveragemechanismamplifying

flexurepivotdesignsinmicroleveragemechanismarediscussed,andtheequationsforcalculatingtheam—



-stagemicroleveragemecha-
nism,thedesignmethodispresented.
Keywords:micromechanicalSiliconoscillatingaccelerometer;microleverage;amplificationfactor
EEACC:7230;7320E
硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计
裘安萍,苏岩,施芹,黄丽斌
(,南京210094;,南京210096)
摘要:提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,,讨
论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现I型支点形式的放大倍数略高于II型支点,
并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的