晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法-论文.pdf

第 卷第 期 计算机 集成制造 系统 ．
年 月 ．
文章编号 ：— —
晶圆制 造物料运输 系统性 能分析建模方法
吴立辉，张 洁
．河南工业大学 机 电工程学 院，河南 郑 州 ；．上海交通大学 机械与动力工程学院 ，上海
摘 要 ：为在 自动化物料搬 运系统设计 阶段快速有效地分析该 系统 的性 能 ，提 出一种扩展 模型 的建模
方法 ，该方法减少 了 自动化物料搬 运系统性能分析模 型 的规模 ，避免 了模型 的状 态空 间规模爆 炸 。采用某 晶圆制
造企业 的实际生产 数据进行测试 ，并与仿真分析方法 比较 。结果表 明 ，扩展 模 型与仿 真模 型在 自动化物 料
搬运系统搬运量 、运输小车利用率 和空载 小车 到达平均 时间 间隔等指 标方 面的相对 误差 值为 ，处于 一 ，
的区间范 围；与仿 真模