欧洲微电子研究中心IMEC简介.docx

欧洲微电子研究中心 IMEC 简介提起比利时的小城——鲁汶,从事半导体行业的人无不知晓。尽管鲁汶的市中心面积不足九平方公里,仅相当于北京天安门广场加上故宫的面积之和,就是这样一个小得不能再小的城市里却拥有世界著名的独立的微电子研究中心,欧洲领先的独立纳米技术研究机构——比利时弗拉芒校际微电子研究中心 Inter- university Microelectronics Center (IMEC, 2010 年后改名为 imec) 。 1984 年,比利时法拉德斯省政府出资 6200 万欧元创建了非营利组织 IMEC ,成立的主要宗旨在结合荷语区内各大学学术研究的力量,致力信息通讯系统发展所需的技术研究与开发,以下一世纪的集成电路、封装技术、芯片设计和系统发展为研究重心,进而带动外围相关科技的发展,以因应电子科技产业界三至十年后的需要。时隔 27 年, IMEC 早已成为欧洲最大的微电子、信息及通信的研发中心, 已从原来不足 70 人发展到 2008 年超过 1650 人, 2008 年年收入达2亿7 千万欧元。其实验室占地 3600 ㎡、超无尘实验室占地 6200 ㎡、电脑室占地 10400 ㎡, 为欧洲最大半导体制造及设计中心, 其每年预算约为六百亿台币。实验室可以生产到 微米的积体电路。 IMEC 的重点在微机的部份,由其大型无尘室及晶片设计制造中心颇富盛名,其微机电的制造技术室采用传统的蚀刻技术,该组闻名的研究有视觉、加速度及压力的感测器,尤其在比电路方面技术十分先进。 IMEC 的研究活动主要是由三个技术单位所组成:制程技术(Process Technology) 单位包含了IME C所有关于缩小集成电路尺寸(IC scaling) 的研究活动;智能系统与能源技术(Smart Systems and Energy Technology) 针对无线通讯、自动化感应网络、生物医学手段、以及太阳能等各种领域开发创新性整合运用;生产与制程研究开发(FAB and Process R&D) 单位统筹所有支持制程与工具的知识。 IMEC 的研究广泛,目前主要研究领域包括:纳米电子尺寸(Scaling-driven nanoelectronics )、异质整合技术(CMORE -heterogeneous integration )、绿色无线电(Green radios )、电子组件(ponents )、光电技术( Photovoltaics )、生医电子科技( Human++ -biomedical electronics )、神经电子学( NERF -Neuroelectronics Research Flanders )、生物电子( Organic electronics )、无线自主转换器解决方案( Wireless autonomous transducer solutions )九大方向等。在半导体方面, 7 微米 CMOS 制程整合技术为主要重点,其中包含了 193 和157 纳米光刻技术、高介电质栅极(gate dielectric) 材料、铜导线及低介电质材料开发。 CMOS 组件微小化有助于未来系统单芯片(system onchip, SoC) 的开发。在微波组件上, SiGe BiCMOS 模块也是开发重