微压力传感器的设计与制作工艺研究.pdf

分 类号 学号
密 级 公 开
工学硕 士 学位 论文
微压力传感器 的设计与制作工 艺研究
硕 士 生 姓 名 李伟东
学 科 专 业 机械 电子 工 程
研 究 方 向 精 密工 程 与微机 电系统
指 导 教 师 李圣 怡教授
国防科 学技 术大学研究生 院
二 五年十一月
A S t u d y o n t h e D e s ig n a n d F a b r ic a t io n o f
执厦
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学位论文题 目 微压 力传感器的设计与制作工 艺研究
学位论文作者 。 外手 。期 冠 、 , 月石
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学位论文题 目 微压 感器 的设计与制作工 艺研究
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日期 ` 月
学位论文作者签名 奋歼 尸犷年 歼
作者指导教 师签名 鸳 日期 全 年 月 日