硅片切割线痕的起因与降低方法.doc

硅片切割线痕的起因与降低方法摘要线痕的存在会影响电池片的生产工艺。是太阳能硅片生产中比较重要的一个问题。本文分析了多晶太阳能级硅片产生线痕的原因. 并针对各不同成因。对降低和避免硅片线痕的措施进行了探讨。关键词硅片线痕起因降低方法前言硅棒的切割不管是在半导体行业还是太阳能光伏行业都是必不可少的一道工序, 硅片质量的好坏直接关系到后续工序的制造和加工。线痕是影响硅片表面质量的一个比较重要因索。半导体行业对硅片表面质量要求较高, 但其线痕并不是一个大问题, 因为相对而言其硅片较厚, 切割过后有一抛光研磨过程可以去除线痕; 而光伏行业的硅片非常薄( 160-220um ), 因此研磨工艺在太阳能行业是不适用的。线痕的存在还会影响电池片的生产工艺, 易造成破片。 1. 线痕的分类线痕按照形状分有单一线痕,密集性线痕和硬点线痕。硅片表面的单一线痕,有深有浅,一般线痕较小还是可以接受为合格片; 密集性线痕体现为整个或者部分硅片表面出现多条由深至浅状的线痕; 而硬点线痕出现的毫无规律,但是其形状似单一线痕。但是线痕上可以明显看到有硬点的存在。对于单晶来说,线痕主要有密集性线痕和单一线痕; 对于多晶来说,三种都存在,即比单晶增加一种由于硬点造成的线痕。 2. 单一线痕单一线痕主要产生的原因和处理措施为: 1) 跳线。跳线造成的线痕一般会集中在晶棒的某一段, 但有时也会整根棒跳线, 从而导致切割后整根棒几乎都有线痕片。造成跳线的主要原因为: a, 杂质( 碎硅片, 砂浆中的杂质) 进入线槽或者粘附于线网, 若上一次切割完毕后线网未清理干净或者砂浆过滤袋质量出现问题,则很容易发生这种情况; b, 导轮磨损过大,导轮使用寿命有限制,超过一定时间则需要更换导轮; c, 钢线张力太小, 线弓过大产生滑移, 一般在工艺稳定的情况下, 这种情况不易发生, 如为此种情况,须适当调整工艺; d ,硅棒对接位置不好也易引起跳线。为了尽量避免跳线,每次切割完毕后清理工作要做到位,确保线网上的杂质都被气枪吹尽, 切割前砂浆循环足够时间, 使砂浆中携带的杂质都被有效过滤, 每次切割前确认导轮使用时间是否超出限制,如果超出及时更换。 2) 断线。断线后的晶棒即使能够挽救回来,或多或少会产生线痕片。影响断线的主要因素为: a, 钢丝本身缺陷,如①钢丝强度偏底;②钢丝内含夹杂物, 钢丝的断面照片可以明显看到成不相容相的颗粒;③钢丝存在表面缺陷, 当切割受力时这些杂质和缺陷成为应力承受的薄弱部位,易于断裂。 b,收(放) 线端异常受力,如①工字轮变形;②放线端线头穿错也称压线;③收(放) 线端工字轮毛刺,收、放线时钢丝被刮在其上引起断线;④收(放) 线端走线部件即滑轮、滚套的表面质量和工作状态, 放线轮的跟随性不佳, 滑轮滚套异常磨损, 张力检测设备故障等引起收(放) 线侧张力的波动或钢丝异常受力断线;⑤收线端排线质量不平整引起收线张力急剧跳动从而断线;⑥收(放) 线侧张力瞬时波动超过了钢丝的承载极限, 或承受异常应力( 如剪切应力) 作用引起断线;c ,切割工艺出现异常, ①张力设定合理性;②砂浆配置参数,砂浆配比或质量影响到钢丝携带砂浆量及切削能力, 直接对钢线的磨损量造成影响, 随着磨损量的增大, 一方面钢线表面缺陷增多, 另一方面载荷横断面积减少, 一旦钢线的磨损量超过所能承受的范围, 钢线