晶圆切割站培训资料.ppt

晶圆切割站培训资料
C、日常操作：
开机；系统初始化（快捷键SYS INIT）
确认刀片型号及使用寿命未到极限（）
测高（ UP→F3）
刀片基准线校准（）
确认生产型号（E：6500刀
2、当刀片磨损量到达刀刃极限时
也须换刀（在正常切割画面下按F3，
进入刀片状态信息）
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3、在主目录下按F5（刀片参数维护），再按F1（刀片更换）进入更换刀片画面
4、打开保护盖，先擦净压克力板以及各管路
警告：因在此目录下按SPINDL，转轴
不会转，所以尽量在此目录下更换，以
免意外发生！
换刀
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5、拧开螺丝，拿掉WHEEL COVER，
将刀片破损检测敏感器旋至最上
6、
换刀
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7、用扭力扳手顺时针旋开卡紧螺丝
8、小心取下刀片，并放入盒内
换刀
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9、退出刀片更换画面，再按F2
进入刀片检出装置调整画面，
将刀片破损检出敏感器取下，
用沾水的棉棒将其擦拭，使屏幕显示为100%
10、用沾水的无尘纸擦拭转轴
换刀
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11、小心取出新刀片
12、将新刀片小心装上转轴，
并将卡紧螺丝用扭力扳手逆
时针方向旋紧，装上WHEEL
COVER；调节刀片破损装置
使其敏感度在10%左右
换刀
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13、盖上保护盖，进入F1更换刀片画面，确认刀片类型、刀片状态等参数后，按ENTER更新刀片参数；再到F6刀片状况资料里将对应的刀片刀数清零
14、退到主画面，按F4选择磨刀程序MNT（Z1/Z2/Z1Z2）
按F1进入全自动切割，进行磨刀
换刀
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D、菜单讲解：
F1：单品种全自动切割
按下此键后，系统进入单品种全自动切割准备状态，再按下快捷键NEW CST、START，机器将按F4菜单中设置的程序进行单品种全自动切割
F2：多品种全自动切割
跟F1相类似，只是F1切割过程中程序不变，而在F2中，可以设定料盒中有不同的产品，不须中途全自动结束更改程序（例如：EAGLE的CCD与TG可以放在同一个料盒中切割）
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F3：手动操作
：进行刀片基准线校准或其他机器维护时需要先进料至工作盘



：通常在此程序下切不整片的晶圆




（切割除外）：，但不进行切割
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F4：型号目录（有关切割参数的设定）
F5：刀片参数维护
F1 刀片更换：进入此程序后，切割轴和切割水自动关闭，以便进行更换刀片的工作。当然也可以按下快捷键SPNDL和CUT WATER来关闭切割轴和切割水后进行更换，不过没有前一种方法安全，因为前一种情况下如果按下SPNDL后转轴不会转，后者则不然
F2 刀片破损装置检测：在此程序下擦干净刀片破损装置检测敏感器，然后按规定调整敏感器
F3 测高方式：包含非接触、工作盘校准、敏感器校准测高
F5 刀片基准线校准：每天切割前的准备工作，建议每次换刀后都做一遍，可以提升切割品质
F6 刀片状况资料：每天开机后或切割前必须进入确认刀片未到极限寿命后方可进行切割
F7 测高参数
F8 敏感器清洗
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系统初始化
选取F3-F5半自动切割
非接触测高
手动校准CH1面
对焦
调节θ角（水平）
找到第一个需要切割的切割道并对齐
按START开始切割并立即暂停
切割另外一面（CH2）
进料
检查切割位置，确定OK后继续切割
选择向前或向后
手动切割
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E、具体操作要领
一、常见异常报警的处理
1、切痕检查：偏离中心
*消除警报
*确认警报原因为切割位置偏移OR基准线偏移
*若是基准线偏移，则利用Y方向键调节基准线中心对准切割痕中心
*按F5键基准线调整
*利用F4刀痕参数中的F5刀痕检查，检查以上调整的位置，检查后会自动调整误差，并显示于屏幕
*检查确认无误后方可继续切割
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2、目标没有寻到
*消除警报
*按F4继续切割，但切割一刀后马上停止
*利用F4刀痕参数中的F5刀痕检查，确认基准线中心与切割痕中心对齐
*确认无误后方可继续切割
异常处理
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3、切痕检查：切割位置偏移
*消除警报
*利用Y键调节到正确的切割位置
*按F10键