扩散炉使用说明.docx

高温扩散炉
使用说明书
北京中联科利技术股份有限公司
1 .概述 （2）
1 . 1广品特点 （2）
1. 2主要用途及适用范围 （2）
3品种、规格 （2）
. 4型号的组成及其代表意义 （2）
.结净化柜的顶部装有照明灯；正面是水平层流的高效过滤器及三层推舟的丝
杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座，丝杠的一端安装有驱动步进电机，导轨的两 端是限位开关和极限保护开关（装在上面的是限位开关，装在下面的极限开关） 。靠
近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩，与外接抽风系统连接后，用来排掉出舟 时散发的大量高温有毒气体。
在柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。
4 1、推舟净化柜内有380V交流电，请注意安全！
2、装配和使用过程中请注意始终保持限位开关先于极限开关接通。
电阻加热炉部分
电阻加热炉柜共有五层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，废气室顶部设有抽 风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走。
中间分三层放置三个炉管，每层由四个坡面支架托起并固定住炉管， 其位置在安 装时已经与推舟送片机构一一丝杠、导轨副调好对中，因此切不可轻易挪动。炉管 上从左至右分别有六个接线端子，请务必根据接线端子及线头上的标号对应连接， 连接时，请使线与炉管外壁保持一定的距离，以防电缆因过热而短路。在炉管外壁 的中部，可以看到有五个热电偶接线座，中间三个的座内各接有两支热电偶，热偶 I用来控温，热偶R为超温保护热电偶。控温热电偶从左至右分别用补偿导线对应 连接控制柜上对应层的左附控、控I、控R、控田、右附控温控仪的第 2通道，第1
通道用于连接炉内的五段热电偶。保护热电偶则连接到控制柜对应层的保I、保R、 保田温度保护仪。
丛 内置热电偶的5个监测点必须与炉外5个热电偶的位置一一对应，这种对应 关系对恒温区温度控制精度及稳定性至关重要。
每管炉体的右侧设置有废气室，以排放工艺过程中产生的有毒有害气体。
炉柜的底层安装有三管加热炉的功率部件（可控硅、散热器、接触器、变压器、 可控硅过零触发器等）。底部背面的门板上装有散热风机，用以对可控硅进行散热。
气源柜分为五层。顶部设置有排毒口，用以排除在换源过程中泄漏的有害气体。 柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口，接口以下安装有减压阀、截 止阀，用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路，各层分别装有相应的电磁阀、 气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、及源瓶恒温槽等。
柜子的底部装有质量流量控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总
电源进线转接板
尔停炉后再运行工艺前，必须认真检查各减压阀的压力是否在要求的范围之内、 各手动阀是否都处在打开的位置，特别是源瓶上的聚四***手动阀更应仔细检 查，确保其已打开，否则有炸瓶的危险；对外的排气软管及废液瓶也应经常检 查和清洗，防止由于废液和偏磷酸残渣堵塞管道而引起源瓶爆炸。
气路配置见图3。
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图3
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3系统控制原理
系统控制方框图见图4,总控制原理图见所附电路图
图4

温控仪
每管配置有五个高档进口双通道级联温控仪， 该温控仪带有抑制超调功能、智能
自整定PID调节系统和内外级联控制功能，有多种信号输入方式，可方便地与炉体 的控温热电偶组成温度控制系统，对炉体的恒温区实现精确控制。通过启动自整定 功能，温控仪能自动调整演算出一组最合理的
PID控制参数。仪器各参数可手动输
入，也可通过温控仪提供的 RS485通讯端口，与同样具有 RS485通讯协议的计算机 主机进行联接，计算机可通过指令自动设置并运行温度控制仪的相关参数，所需的 工艺参数均可在触摸显示器上直接操作与显示。
尔 温控仪经初始化后的各功能值不可随意调整和更改， 否则，极有可能造成温度
控制精度下降甚至导致炉温失控。
推舟净化单元
净化由净化风机、初效过滤器、高效过滤器组成。启动风机， 1000级的环境空
气经过二级过滤器后，可获得洁净的 100级水平层流净化区。一般在进出舟时，要 求启动净化风机，一是为硅片进出反应管提供高洁净区，二是将高温热气流驱散， 以免灼热的气流将过滤器及净化台顶部烤焦。净化风机可手动开启，工艺运行中也 可设置在相应步自动开启。
推舟部分由导轨、丝杠、SiC桨固定座、石英炉门、不锈钢炉门及步进电机驱动 系统等组成；用于在该局部高洁净区平稳地向反应管中推进、拉出工艺片。由于进、 出舟的纯直线行程达2000mm所以在运行中要求平、直、无抖动，因而该部分采用 了直线导轨副配合丝杠副进行传动。 直线