外延GaN衬底上ZnOGa薄膜的制备及特性研究.pdf

⑧厶紊只孥硕士学位论文鱼竺酶堍罄鬣■嫩也士薛旁目讳也士盆论文题目:爿、边翩荪上棚?鍶痰穆南皮犸苎忻弓连孱一А#埽圳晡缭日分类号:,作者专导师合作导师,,簅≯过”▲扃喵群.‘≯⒑雧;,。密级:单位代码:业学号:砂。营雪&氟;鲆唬耖。,,’
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论文作者繇衅导师虢缢日期趔豪啕原创性声明塑:核关于学位论文使用授权的声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名:期:本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权山东大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。C苈畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑电●
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目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.符号说明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯§透明导电氧化物∧じ攀觥∧さ男灾始捌溆τ谩结构性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯电学性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.庋灾省∧さ挠τ谩∧さ闹票阜椒ā∧さ难芯肯肿础§课题的选取和研究的内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第二章实验设备介绍和薄膜制备过程的介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.§金属有机化学气相淀积法低车慕樯堋幕驹怼募际跆氐恪§实验前的准备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.牡椎难∪.牡椎那逑础原料的选取和实验参数的确定⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.ひ樟鞒痰某绦虮嗉§薄膜的制备过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。山东大学硕士学位论文§⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.●.
湎哐苌洧畆湎吖獾缱幽芷注籸第三章薄膜性能的测试分析方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.§结构和成分测试分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯琗§薄膜表面形貌分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.璧缱酉晕⒕.恿ο晕⒕.干涞缱酉晕⒕,⋯⋯电学性质的测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.§光学性质的测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒐馄琍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一第四章狦/狝衬底外延∧さ难芯俊∧ぱ返闹票浮§反应压强对狦/狝生长∧ば灾实挠跋臁反应压强对∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.反应压强对∧さ墓庋灾实挠跋臁§衬底温度对狦/薄膜结构的影响⋯⋯⋯⋯⋯∧さ慕峁顾娉牡孜露鹊谋浠瓽/狝衬底生长ゾП∧ね庋由せ矸治觥∧さ淖榉址治觥.∧け砻嫘蚊驳挠跋臁§衬底温度对狦生长獾缧灾实挠跋臁衬底温度对∧さ牡缪灾实挠跋臁山东大学硕士学位论文§.◆●,
.牡孜露榷訸薄膜的光学性质的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第五章瓽/瓵衬底制备篏∧さ难芯俊掺杂∧さ闹票浮篏∧そ峁剐灾实难芯俊掺杂浓度对薄膜结构性质的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。篏∧∧け砻嫘蚊驳挠跋臁篏∧さ缪匦缘难芯俊篏∧す庋匦缘难芯俊本章参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。第六章结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硕士期间发表论文目录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。致洹山东大学硕士学位论文§●.
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