透射电子显微镜.ppt

§8-1 透射电子显微镜的结构与成像原理
§8-2 主要部件的结构与工作原理
§8-3 透射电子显微镜分辨本领和放大倍数测定
第八章透射电子显微镜
本章重点:
1 TEM与光学透镜的异同。
2 电子光学系统的构造及各部分的功能。
3 如何实现成像操作和衍射操作?
4 TEM中主要光阑的位置和作用。
5 成像系统中各透镜的功能。
§8-1 透射电子显微镜的结构与成像原理
透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜来聚焦成像,因此有很高的放大倍数(106倍),高分辨率()。
透射电镜(TEM)
电子光学系统(核心)
电源与控制系统
真空系统
照明系统
成像系统
观察与记录系统
一、概述
TEM的结构:
、TEM的光路成像原理
电子枪发射电子束经聚光镜聚焦
照明样品电子束穿过样品
在物镜的背焦面上形成衍射花样
在物镜的像平面上形成显微图像
图像被中间镜和投影镜逐步放大
在荧光屏或感光底片上成像
经物镜放大成像
图透射显微镜构造原理和光路
b) 透射光学显微镜
a) 透射电子显微镜
、镜筒内为什么保持高真空状态:
⑴防止高速电子受空气分子碰撞而改变运动轨迹;
⑵避免因空气分子电离而引起放电而破坏了电子枪电极间的绝缘;
⑶避免阴极氧化及样品污染。
3 、为什么使用电磁透镜?
使用静电透镜(用电场聚焦)需要高压,给设备的设计和操作带来不便。
故现代电镜中静电透镜只在电子枪中使用;而聚光镜、物镜、中间镜和投影镜则都采用电磁透镜(用磁场聚焦),可以通过改变激磁电流来调节透镜的聚焦能力。
4、 TEM和光学透射显微镜的异同
相同点:
(1)光学成像原理相同;
(2)都能用于形貌分析。
不同点:
(1)光源不同;
(2)聚焦透镜不同;
(3)TEM中有中间镜;
(4)成像屏幕不同;
(5) TEM镜筒中要保持高真空;
(6)放大倍数及分辨率不同;
(7)景深焦长不同。