真空技术及应用系列讲座——第十九讲真空溅射镀膜-论文.pdf

第 卷 第 期 真 空 ．。．
年 月 ．
第十九讲 真空溅射镀膜
张 以 忱
东 北 大 学 ，辽 宁 沈 阳
中图 分类 号 ：； 文献 标 识码 ： 文章 编号 ：———
接 年 第 期第 页 时 ，溅 射粒子 与气体分 子碰撞 而返 回阴极 靶 表
面所致 。
四
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离子入 射角 压 力 ／
图 溅 射产额 与离 子入射 角的关 系 图 溅 射系数 与工作 气体压 力的关 系
⑤ 溅 射产额 与工作气 体压力 的关 系 入射离 子能量 ，轰击 靶
在较低 工作气 体压力 时 ，溅 射产额 不 随压力 ⑥