射频磁控溅射法制备ZrW-%2c2-O-%2c8-薄膜及其性能研究.pdf

江苏大学
硕士学位论文
射频磁控溅射法制备ZrW<,2>O<,8>薄膜及其性能研究
姓名:付廷波
申请学位级别:硕士
专业:材料学
指导教师:程晓农
20070401
摘要数及改进热处理工艺,成功制备了纯的���薄膜。用�湎哐苌�Ⅺ①�⑸��大学硕士学位论文新型负热膨胀�����������虺芅��牧蟌���墙�昀�新材料领域的研究热点之一,由于该材料在������很宽的温度范围内具有各向同性负热膨胀效应,因此在微电子、光学、通信、医学等领域具有广阔的应用前景。目前,���粉体和块材的制备及性能研究己趋于成熟,但对薄膜态���的研究尚处于起步阶段。本文围绕着���薄膜的合成及其性能开展了相关的研究工作。本研究采用射频磁控溅射方法,以��和��煌�浔鹊母春咸沾砂泻痛康����陶瓷靶为溅射靶材,制备了前驱体薄膜。在此基础上,通过优化溅射工艺参电镜���驮�恿ο晕⒕��尼兜纫瞧鞫员∧の锵嗉氨砻嫘蚊沧髁吮碚鳎�⒉�用变温��⒆杩挂恰⒎止夤舛燃频瘸醪窖芯苛薢���∧さ娜扰蛘托阅堋⒔榈�性能以及透光性能。实验结果表明:采用不同靶材沉积制备的前驱体薄膜均为非晶态,经热处理后可获得���薄膜。热处理工艺对薄膜的结构和纯度有较大的影响,���热处理��后,得到结晶度较好的���薄膜,适当增加热处理时间可以相应的提高薄膜的纯度,但仍存在��和��唷6���蕖婷芊獯慊鹑却����罂梢缘玫�纯净的���薄膜。制备所得的前驱体薄膜表面光滑平整,没有颗粒生长;而经过���却�砗笏�肸���∧さ目帕C飨猿ご螅�笮【�龋痪�����芊獯慊�所得的���薄膜颗粒细小,结构较致密。所得的���薄膜具有良好的负热膨胀性能,在室温到����洌�骄�扰�胀系数为.�.������黄湓诟咂登�浣榈缧阅芪榷ǎ�榈绯J���辉诳杉�夂�红外光范围内具有较高的透光率。关键词:射频磁控溅射;���薄膜;热膨胀系数;介电常数;透光率江苏����
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炙如夕年;月岁日乞�/�産学位论文作者签名:�纾和ⅲ黄�吨学位论文版权使用授权书捌定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权江苏大学可以将本学位论文的全部内容或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于年解密后适用本授权书。保密口,在不保密回。瞧年导奎�二¨,:一
学位论文作者签名:�郝义旨�日期:弦�年�辉拢��独创性声明日期:弦��阠;月,日对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容以外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
第一章绪论薄膜理论最早形成在大约二十世纪�年代嘲。���仁紫确⒄沽嗽�映珊死�引言��薄膜的制备方法大学硕士学位论文薄膜科学在物理学与材料学科中已经形成了一门分支学科,薄膜的研究和开发为微电子学、光电子学、磁电子学等新兴交叉学科的发展提供了材料基础,高质量薄膜的生长工艺、有关薄膜的组成、晶体结构和物理性能成为这些新学科的组成部分。特别是半个世纪以来,电子学的发展需要新材料和新器件的突破,薄膜科学就成为开发新材料和新器件非常重要的领域。因为薄膜材料具有厚度薄和比表面积大的特点以及由于逐��子凝聚而引起的独特物理结构,决定了其将具有与块状材料不同的独特物理性质,因此随着信息技术的发展,薄膜材料在微电子和光电子学中发挥了越来越重要的作用。近年来如何在实践中制备出高质量的新型化合物薄膜材料正成为材料领域的研究热点之—.【�。论���6�ρ�俾史匠逃蒢�������状翁岢觯�⒐惴河糜诮馐统珊松�ば形:�实验。此后随着各种新薄膜理论的不断涌现,薄膜技术和工艺也曰趋成熟。自�年代以来,薄膜技术和薄膜材料更是得到