下载此文档

一种动静混合镀膜系统的制作方法.docx


文档分类:行业资料 | 页数:约2页 举报非法文档有奖
1/2
下载提示
  • 1.该资料是网友上传的,本站提供全文预览,预览什么样,下载就什么样。
  • 2.下载该文档所得收入归上传者、原创者。
  • 3.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
1/2 下载此文档
文档列表 文档介绍
该【一种动静混合镀膜系统的制作方法 】是由【开心果】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【一种动静混合镀膜系统的制作方法 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。一种动静混合镀膜系统的制作方法专利名称:一种动静混合镀膜系统的制作方法本实用新型涉及一种动静混合镀膜系统,包括静态镀膜系统和动态镀膜系统;静态镀膜系统包括静态镀膜腔室、第一镀膜组件以及第一传输组件;所述往复扫描的距离是零或者是任何小于相邻靶材间距的距离;动态镀膜系统包括动态镀膜腔室、第二镀膜组件以及第二传输组件。本实用新型系统和方法能对基板进行镀膜且镀膜均匀、能够防止对静电敏感器件造成静电损伤。【专利说明】一种动静混合镀膜系统【技术领域】[0001]本实用新型涉及一种镀膜系统,尤其涉及一种动静混合镀膜系统。【背景技术】[0002]真空磁控溅射镀膜过程产生的等离子体通常会对静电敏感器件造成静电损伤,尤其是部分器件被等离子体覆盖而其它部分没有被等离子体覆盖时,这会在器件不同部位间造成电压差,从而通过放电击穿器件,造成静电损伤。[0003]真空镀膜一般有两种方式:静态镀膜:玻璃基板保持静止状态,一组靶材均匀分布在玻璃基板前面,靶材覆盖面积要略大于玻璃基板,为了提高镀膜均匀性,镀膜时靶材的磁棒磁场方向来回扫描,以目前市场上的技术,,静态镀膜系统的薄膜均匀度最好只能达到10%左右;(2)动态镀膜:玻璃基板在靶材前面匀速通过,根据镀膜厚度的要求,可以配备一定数目的靶材,动态镀膜有着均匀度良好的优越性(

一种动静混合镀膜系统的制作方法 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.

相关文档 更多>>
非法内容举报中心
文档信息
  • 页数2
  • 收藏数0 收藏
  • 顶次数0
  • 上传人开心果
  • 文件大小14 KB
  • 时间2024-04-17