一种利用原子力显微镜的套刻对准方法及装置的制作方法.docx

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据区域14与区域15的偏差量,对第二层图形的坐标加以修正。其偏差量包含位移偏差与角度偏差,依据套刻对准标记交点相对坐标进行如下计算xoffset=X1+X2+X33cosθ-Y1+Y2+Y33sinθ-x1'+x2'+x3'3Yoffset=X1+X2+X33sinθ+Y1+Y2+Y33cosθ-y1'+y2'+y3'3θ=arctany2'-y1'x2'-x1'-arctanY2-Y1X2-X1]]>其中,Xoffset、Yoffset为位移偏差,θ为角度偏差。利用该补偿值对第二层图形坐标进行如下修正X′=Xcosθ-Ysinθ-XoffsetY′=Xsinθ+Ycosθ-Yoffset]]>其中,X、Y为修正前第二层图形的坐标,X′、Y