SOI高温压力传感器的研究.doc

SOI高温压力传感器的研究.docSOI高温压力传感器的研究
第19卷第4期
2006年8月
传感技术
CHINESEJ0URNALOFSENSORSANDACTUATORS


ResearchofSO1HighTemperaturePressureSensor
ZHANGShu—yu¨,ZANGWei—lian,SUOKai—彻,NIUXin—huan,ZHANGSheng—cai,YAOSu-ying
/1-SemiconductorMaterialInstitute,H出UniversityofTechnology,Tianjin300130,ChinaI,
2,SchoolofElectronicsandIt,fformationEngineering,TiainUniversity,Tianjin300072,China,
Abstract:
onSOIpressuresensorsrevealthattheoutputvoltageisnotchangedobviouslyat220℃,itissuggested
paringwithpoly-Sipressuresen—
sorwiththesamelayoutdesignandprocessparameters,theSOIpressuresensorhadagoodpropertyof
high_temperature,andthesensitivityofSOIpressuresensorwasmuchhigher.
Keywords:pressuresensor;SO1;sensitivity;Finiteelement
:7230;7320V
SOI高温压力传感器的研究
张书玉¨,张维连,索开南,牛新环,张生才,姚素英
(1河北工业大学半导体材料研究所,天津300130;,天津300072)
摘要:介绍了SOI压力传感器的制作工艺,并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟,模拟结果与实际测得结果是
,当温度增加到220"
硅压力传感器进行比较,发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏度有较大提高.
关键词:压力传感器;SOI;灵敏度;有限元
中图分类号:;:A文章编号:1004-1699(2006)04-0984-04
敏感器件(传感器)的作用就像人的五官一样,
信号的摄取,
感器件的开发和发展,自动控制,遥感遥测,空间科
学的研究就不可能达到今天这样高度发达的水平.
随着信息技术的深入发展,传感器的作用也日益显

,应力膜应力分
布的情况都直接与传感器性能(灵敏度,精密度,可
靠性等),传感器
的作用Et益重要,目前使用的半导