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WI-PD-027 金属镀膜工作指引 Rev.A.doc

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文档列表 文档介绍

文件编号:WI-PD-027
文件名称:
金属镀膜工作指引
生效日期:2010-8-1
版次:A/0
页码:1/1
序号
工序名称
工具
作业方法
负责人
备注
预热
镀膜机
开水、电、气泵。
开机械泵、旁路阀、前级阀、加热扩散泵1小时。
作业者

进炉
挂具
将挂好玻璃的挂具装进真空室,开预抽阀到真空度达5 Pa左右时,关预抽阀,开前级阀,开高阀。
作业者

加温
烘烤
灯管
开烘烤约8分钟,~×10-2Pa。
作业者

镀膜
蒸发源
加大蒸发源电流至400A,开始镀膜,到膜厚达到要求时停镀。
作业者
出炉
关高阀,充气,打开真空室,将挂具出炉。
作业者
关机
,开预抽2分钟,关预抽;开前级,降温1小时。
,关前级测量计,停水、电、气。
作业者
核准
审核
制作

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