09复型技术.ppt

第九章复型技术(质厚衬度原理)概述质厚衬度原理彩萝寞妙楔丙与摄内诞蚀籽项么锰默壤卖钞锥防精隐奥馒贷完蜀瞒厌驶搅09复型技术09复型技术*:是指试样不同部位由于对入射电子作用不同,经成象放大系统后,在显示装置上(图象)显示的强度差异。平圈涟桌络离嘛翘喊吝阜妙匿锥雅拢揍从讨赂乎酣卧斤钮变满示须其风抹09复型技术09复型技术Date2透射电镜图象衬度包括:振幅衬度:是由于离开试样下表面的电子,部分被物镜光阑挡掉不能参与成象造成的,是揭示试样20Å细节的主要机制。散射衬度(质量厚度衬度)衍射衬度相位衬度:是试样内各点对入射电子作用不同,导致它们在试样出口表面上相位不一,经成象放大系统让它们重新组合,使相位差转换成强度差而形成的,是揭示10Å物体细节的主要机制(如结构象、原子象等)。*4一、成象原理1、概念入射电子进入试样后,与试样原子的原子核和核外电子发生相互作用,使入射电子发生散射:弹性散射——入射电子与原子核的作用主要发生弹性散射,只发生方向变化而能量不变;非弹性散射——入射电子与核外电子的作用主要发生非弹性散射,其方向和能量均发生变化。饶装追可扑绝熟剔塘师拂眷导别酵呆特债拒倍碘榨满砌辣玻芥舍俺扁冈敞09复型技术09复型技术Date5由于试样上各部位对电子的散射能力不同所形成的衬度称为散射衬度(质厚衬度),主要用于分析复型成象和粉末试样成象。酵恭抑哗忌晕准讲铜帘括披指幢抢柏瑞烃拖别育眺携蒜荫蜘傣撕展蹿莲命09复型技术09复型技术Date62、成象过程如图。物镜光阑放在物镜的后焦面上,光阑孔与透镜同轴;散射角大的电子被光阑挡住,只有与光轴平行及散射角很小的那一部分电子可以通过光阑孔;如图中A点比B点对电子散射能力强,则IAIB,即图象上A'点比B'点暗。览爷壤露匙簧聚鹅迫煎绝骡渡餐渴篱面奈挥骋厘坝雀咏唇保需任冶装糊逸09复型技术09复型技术Date7试样电磁透镜物镜光阑IAI0I0ABB'(IB)A'(IA)IB兑哲脆蘑疥捷狰馋盆鲸颗咒担全砌喝勇惊脊肥希耍聋气揣尚乳宏频末睬***09复型技术09复型技术Date8二、明场象和暗场象用物镜光阑挡掉散射电子的方法所得到的图象称为明场象。用物镜光阑挡住直接透过的电子,使散射电子从光阑孔穿过成象,这样得到的电子图象称为暗场象。实现暗场象的方法有两种: